First-Nano

刻蝕顯影清洗系統

薄膜測量系統

接觸角測量系統 橢偏儀 光譜反射儀 薄膜應力測量系統

半自動引線鍵合機

WB-200 半自動引線鍵合機

Etching刻蝕系統

ICP低溫刻蝕 離子銑離子束刻蝕 等離子反應離子刻蝕

Deposition沉積系統

AT-400原子層沉積 PLD脈沖激光沉積 PA-MOCVD等離子輔助 ALD原子層沉積系統 PECVD等離子化學氣相沉積系 Sputter磁控濺射系統 E-Beam電子束蒸發 熱蒸發鍍膜熱蒸發鍍膜 離子束刻蝕濺射鍍膜一體機 光學元件原子級拋光鍍膜設備

Megasonic Clean /兆聲清洗系統

單片晶圓兆聲清洗機 批量型兆聲清洗系統

Harrick等離子清洗機

高功率等離子清洗機 擴展型等離子清洗機 基本型等離子清洗機 等離子清洗機真空泵 氣體流量混合器

測量儀器

聲表面波SAW功率發生器

PIE 等離子清洗機

PDC-32G 等離子清洗機 Tergeo-plus 等離子清洗機 Tergeo / 旋風等離子清洗機

Hall Effect

HMS-3300霍爾效應測試儀 HMS-3000霍爾效應測試儀

QCM/石英晶體微分析儀

石英晶體微分析儀

Etching/等離子蝕刻系統

等離子刻蝕ICP

Thin Film薄膜沉積系統

高密度化學氣相沉積系統 PECVD沉積 磁控濺射系統 高真空熱蒸發鍍膜儀

美國杜邦Dupont

EKC270蝕刻殘留物去除劑 EKC265蝕刻殘留物去除劑

Ethcing/等離子蝕刻系統

等離子刻蝕ICP

Probe station/探針臺

磁體探針臺 低溫探針臺

Reflow Oven /回流焊

高真空MEMS焊封機

紫外掩膜對準曝光系統

紫外掩膜對準曝光系統 紫外掩膜曝光機

快速退火爐

快速退火爐

生命科學

人體運動能耗監測儀

其他品牌

OAI