NTE-3500Thermal Evaporator熱蒸發系統

NTE-3500Thermal Evaporator熱蒸發系統概述：

    提供NTE-4000和NTE-3000型號的PC計算機控制的熱蒸發系統，可沉積有機物和金屬。設備具有小占地面積、干凈、均勻、可控及可重復的工藝過程、低價格, 高性能以及高能力的特點。可以在設定的RMS電流下，或者在閉環的配置下操作，并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調節RMS電流以維持恒定的沉積速度。

產品特點：

• zui大可支持7"的方片或200mm的晶圓片
• 沉積速度可控
• 旋轉的樣品臺
• 雙坩堝或舟
• 2KVA SRC控制電源
• 晶振式膜厚監測儀
• 通過LabView軟件實現PC計算機控制

產品型號：

• NTE-4000：基于PC計算機全自動控制的獨立系統
• NTE-3500：基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立系統
• NTE-3000：基于PC計算機全自動控制的雙蒸發源臺式系統
• NTE-1000：計算機控制的單蒸發源臺式系統