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俄歇電子能譜儀（在線表面分析）-材料表征

簡(jiǎn)介：

microCMA是一種緊湊型（2.75“CF安裝）柱面鏡式俄歇（AES，俄歇電子能譜）分析儀。

microCMA是30年來(lái)投入市場(chǎng)的*創(chuàng)新性的俄歇分析儀。

優(yōu)異性能：

2.75英寸法蘭安裝CMA，內(nèi)置3kV同軸電子槍。這兩項(xiàng)功能的結(jié)合使microCMA在競(jìng)爭(zhēng)中脫穎而出。

microCMA安裝在2.75英寸法蘭上，這意味著它可以添加到大多數(shù)腔室，而無(wú)需向腔室添加另一個(gè)端口（大多數(shù)腔室有額外的2.75英寸端口可用）。

小型化還意味著，只需一個(gè)T形管和一個(gè)小型離子泵，而不是傳統(tǒng)的大型腔室，就可以制造出一個(gè)完整的系統(tǒng)。

同軸電子槍使樣品（彈性峰）易于對(duì)準(zhǔn)，也無(wú)需電子槍（電子源、電源和法蘭）。

俄歇電子能譜儀（在線表面分析）-材料表征

技術(shù)參數(shù)：

緊湊型2.75“CF法蘭安裝

同軸3kV電子槍

CeBix燈絲（運(yùn)行溫度低于Lab6）

USB控制

ASCII命令

經(jīng)驗(yàn)證的CMA設(shè)計(jì)

應(yīng)用領(lǐng)域：

表面分析

螺旋鉆/AES

薄膜分析

冶金學(xué)

半導(dǎo)體

原位

分子束外延

超高真空