產地類別 | 進口 | 應用領域 | 能源,電子 |
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英國KP開爾文探針掃描-半導體表征
開爾文探針掃描系統包括:
□ 單點開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境);
□ 掃描開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境);
□ 超真空(UHV)開爾文探針;
□ 濕度控制的腐蝕開爾文探針;
英國KP開爾文探針掃描-半導體表征
系統配置
這是一款可以被大多數客戶所接收的掃描開爾文探針系統,它是在ASKP基礎之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數字示波鏡等配置,其規格如下:
□ 2毫米,50微米探針;
□ 功函數分辨率 1-3 meV(2毫米針尖),5-10 meV(50微米針尖);
□ 針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內;
□ 表面勢和樣品形貌3維地圖;
□ 探針掃描或樣品掃描選配;
□ 彩色相機、調焦鏡頭、TFT顯示器和專業的光學固定裝置;
□ 參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統的形貌);
□ 備用的針尖放大器;
□ 24個月超長質保期;
儀器的特色
□ 商用的*意義上的開爾文探針系統;
□ 高分辨率的功函數和表面勢,的穩定性和數據重現性;
□ 非零技術(Off-null,ON) ——ON信號探測系統在高信號水平下工作,與基于零信號原理(null-based,LIA)的系統相比,不會收到噪聲的影響擁有高靈敏度;
□ 高度調節技術 ——我們的儀器在測量和掃描時可以控制針尖的高度。因為功函數受樣品形貌的影響,針尖與樣品表面距離的調節意味著數據的高重現性且不會漂移;
□ 該領域內,擁有的信噪比;
□ 快速響應時間 ——測量速度在0.1-10秒間,遠快于其他公司產品;
□ 功能強的驅動器 ——選用Voice-coil(VC)驅動器,與通常的壓電驅動器相比,VC驅動器頻率要穩定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作;
□ 所有開爾文探針參數的全數字控制;
ON | 非零探測 Off Null detection |
HR | 高度調節模式 Height Regulation mode |
SM | 實際開爾文探針信號監控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal |
UC | 用戶通道,同時測量外部參數 User Channels, simultaneous measurement of external parameters |
DC | 電流探測系統去除漂移效應 Current Detection system rejects stray capacity effects |
PP | 平行板震動模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode |
SA | 信號平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) |
WA | 功函數平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting |
DC | 所有探針及探測參數的數字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters |
QT | 針尖快速改變 Quick-change Tip, variable spatial resolution |
DE | 數據輸出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software |
OC | 輸出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit |
FC | 法拉第籠(電磁干擾防護罩) Faraday Cage (EMI Shield) |
RS | 金-鋁參考樣品 Gold-Aluminium Reference Sample |
額外選配項 | |
SPV | 表面光伏電壓軟硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package |
RH | 相對濕度腔 Relative Humidity Chamber |
AC | 控制氣體進口的環境單元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet |
EDS | 外部數據示波鏡 External Digital Oscilloscope |
OPT | 彩色相機 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts |
ST | 針尖置換 Replacement Tips |
GCT | 鍍金的針尖替換 Gold Coated Replacement Tips |
XYZ | 25.4毫米手動3維控制臺 3-axis 25.4 mm Manual Stage |
應用領域
吸附,電池系統,生物學和生物技術,催化作用,電荷分析,涂層,腐蝕,沉積,偶極層形成,顯示技術,教育,光/熱散發,費米級掃描,燃料電池,離子化,MEMs,金屬,微電子,納米技術,Oleds,相轉變,感光染色,光伏譜學,高分子半導體,焦熱電,半導體,傳感器,皮膚,太陽能電池,表面污染,表面化學,表面光伏,表面勢,表面物理,薄膜,真空研究,功函數工程學;