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| 應用領域 | 環保,生物產業,能源,電子,制藥 |
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INFICON英福康膜厚控制儀
INFICON SQC-310 系列擁有先進的電子元件、改進的顯示屏和非常實惠的價格，為您提供競爭對手薄膜控制器所不具備的功能。您可以選擇適合您應用的理想型號：順序沉積 (SQC-310) 或共沉積 (SQC-310C)。
功能
l 明亮的彩色液晶顯示屏 - 提供英文或中文顯示
l 標準RS-232和USB接口（可選RS-232和以太網接口）
l 通過 "快速設置 "菜單、6個上下文敏感按鈕和方便的參數設置旋鈕，實現簡單的設置和操作
l Windows®程序，用于開發、測試和下載過程，并將儀表數據記錄到PC上，用于過程分析和質量控制
l 精確的過程控制，尤其適用于低沉積速率，分辨率為±0.03 Hz，讀數為10個/秒
l 可存儲多達100個過程、1,000層、50層薄膜的數據
l 使用單個傳感器或多個傳感器監測源材料，以提供精確的源分布監測
INFICON英福康膜厚控制儀
規格
| SQC-310 | |
| 測量 | |
| QCM 輸入 | 2 (4 可選） |
| 頻率范圍 | 可調: 1.0 MHz 最小 6.5 MHz 最高 |
| 頻率分率 (1) | ± 0.012 Hz |
| 厚度和速率分辨率/測量 (2) | ±0.015 Å |
| 頻率穩定 | ± 2 ppm 總, 0 to 50C |
| 測量間隔 | 0.10 to 1.0 s (可調) |
| 顯示速率 | 0.01 Å/sec |
| 控制 | |
| 儲存 | 100 過程, 1000 模層, 50 模系 |
| 控制輸出 | 2 (4 可選) |
| 信號輸出 | ± 0 to 10 VDC, 15 bits |
| 數字輸入/繼電器 | 8/8 (16/16 可選) |
| 數字輸入 | 5 VDC 非隔離 |
| 繼電器 | SPST 1A, 30V, 2A 最大 |
| 接口 | 標準 RS-232 and USB (RS-232 和Ethernet 選項) |
| 遠程控制 | 選項 (IPN 782-900-017) |
| 顯示 | |
| 類型 | 1/4 VGA 320 x 240 有源矩陣彩色 LCD |
| 圖型 | 速率、偏差、功率或全屏數字 |
| 一般 | |
| 電源 | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W |
| 兼容 | CE, RoHS |
| Windows® 軟件 | 包含 |
| 機箱 / 安裝 | 5 1/4” 半機架 |
(1) 0.25 s測量間隔的分辨率
(2)工具/密度 = 100/1, 基礎頻率 = 6 MHz, 0.25 s 測量間隔
| SQC-310C | |
| 測量 | |
| QCM 輸入 | 4 |
| 頻率范圍 | 可調: 1.0 MHz 最小 6.5 MHz 最高 |
| 頻率分率 (1) | ± 0.012 Hz |
| 厚度和速率分辨率/測量 (2) | ±0.015 Å |
| 頻率穩定 | ± 2 ppm 總, 0 to 50C |
| 測量間隔 | 0.10 to 1.0 s (可調) |
| 顯示速率 | 0.01 Å/sec |
| 控制 | |
| 儲存 | 100 過程, 1000 模層, 50 模系 |
| 控制輸出 | 4 |
| 信號輸出 | ± 0 to 10 VDC, 15 bits |
| 數字輸入/繼電器 | 16/16 |
| 數字輸入 | 5 VDC 非隔離 |
| 繼電器 | SPST 1A, 30V, 2A 最大 |
| 接口 | 標準 RS-232 and USB (RS-232 和Ethernet 選項) |
| 遠程控制 | 選項 (IPN 782-900-017) |
| 顯示 | |
| 類型 | 1/4 VGA 320 x 240 有源矩陣彩色 LCD |
| 圖型 | 速率、偏差、功率或全屏數字 |
| 一般 | |
| 電源 | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W |
| 兼容 | CE, RoHS |
| Windows® 軟件 | 包含 |
| 機箱 / 安裝 | 5 1/4” 半機架 |
(1) 0.25 s測量間隔的分辨率
(2)工具/密度 = 100/1, 基礎頻率 = 6 MHz, 0.25 s 測量間隔
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