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INFICON英福康氦質(zhì)譜檢漏儀專門為半導(dǎo)體應(yīng)用中的檢漏需求而設(shè)計(jì)。

它具有靈活性、移動(dòng)性、快速啟動(dòng)、高靈敏度、快速和精確的測(cè)試結(jié)果以及可靠性。

l 由于更高的空氣泵送速度，更快的泵降（排空）時(shí)間。

l 由于低維護(hù)的根部粗加工泵，總擁有成本（TCO）更低。

l 由于HYDRO-S軟件消除了水蒸氣背景，更早地開始檢漏，使得快速達(dá)到敏感測(cè)量范圍成為可能

l UL3000 Fab ULTRA還通過使用成熟的吸污管線SL3000提供了改進(jìn)的吸污能力，該吸污管線長(zhǎng)度可達(dá)10米。SL3000有一個(gè)單獨(dú)的連接端口，因此不需要連接到真空入口。

快速的結(jié)果

改進(jìn)后的真空系統(tǒng)帶有低維護(hù)的真空泵，可以從大氣壓開始檢測(cè)泄漏。堅(jiān)固的質(zhì)譜儀系統(tǒng)確保了長(zhǎng)時(shí)間的運(yùn)行和低維護(hù)成本。

可旋轉(zhuǎn)的顯示器和可遠(yuǎn)程控制的用戶接口

新的觸摸屏顯示，即使在遠(yuǎn)距離也能顯示測(cè)試結(jié)果和狀態(tài)信息。通過用戶指導(dǎo)的菜單結(jié)構(gòu)，即使是沒有經(jīng)驗(yàn)的操作員也能輕松操作。通過智能手機(jī)或平板電腦可以對(duì)UL3000 Fab（ULTRA）進(jìn)行無線控制--無需特殊軟件或Apps。通過按鈕記錄和存儲(chǔ)測(cè)試結(jié)果，可以傳輸?shù)狡渌鎯?chǔ)介質(zhì)，以便進(jìn)一步分析。

纖細(xì)的設(shè)計(jì)，先進(jìn)的可操作性

低重心、大輪子、符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的手柄和纖細(xì)的外殼使UL3000 Fab (ULTRA)即使在狹小的空間也有良好的移動(dòng)性。

優(yōu)勢(shì)

l 采用I-CAL軟件算法，在10-9至10-12mbar-l/s范圍內(nèi)快速測(cè)量，節(jié)省時(shí)間

l 使用I-ZERO 2.0進(jìn)行有效的檢漏，其改進(jìn)的智能功能可在保持高測(cè)量靈敏度的同時(shí)進(jìn)行快速背景抑制

l 適用于真空和嗅探檢漏

l 通過快速排空和響應(yīng)時(shí)間，最大限度地減少檢漏工作

l 纖細(xì)的設(shè)計(jì)，易于操作，節(jié)省時(shí)間

l 堅(jiān)固的離子源（3年保修）和逆流真空系統(tǒng)使總擁有成本（TCO）較低

l 逆流式真空系統(tǒng)

l 易于使用，由操作員指導(dǎo)的人機(jī)界面，帶有全彩高分辨率可旋轉(zhuǎn)顯示器

l UL3000 Fab ULTRA：由于HYDRO-S軟件消除了水蒸氣背景，使其有可能迅速達(dá)到敏感的測(cè)量范圍，從而更早開始檢漏。

l UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空氣泵送速度，更快的泵降（排空）時(shí)間

l 根部泵的速度更快

l UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低維護(hù)率，總擁有成本（TCO）更低。粗加工泵。

l UL3000 Fab ULTRA：通過使用久經(jīng)考驗(yàn)的吸污管線SL3000，該檢漏儀還提供了改進(jìn)的吸污能力，其長(zhǎng)度可達(dá)10米。SL3000有一個(gè)單獨(dú)的連接端口，因此不需要連接到真空入口。

典型應(yīng)用

l 半導(dǎo)體工廠

l 平板顯示器制造

l 太陽能電池的制造

l 玻璃和卷材（卷對(duì)卷）鍍膜

l 一般真空鍍膜和應(yīng)用

INFICON英福康氦質(zhì)譜檢漏儀

規(guī)格