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精密氣浮隔振光學平臺能夠滿足精密負載對振動隔離需求，上面板采用優質高導磁SUS430不銹鋼，臺面內核為三層夾心式蜂窩結構，內核密度大幅度提高，具有優秀的硬重比和剛性，同時保證了較低的固有頻率，具備行業較高的隔振效果。上臺面采用精密磨削工藝，平面度可達≤0.05mm/㎡，表面粗糙度<0.6um，回旋打磨工藝清除毛邊，達到無反射、啞光效果，面板具有M6陣列螺孔，易于固定光學元件。氣浮支架采用整體焊接工藝（四支撐或六支撐結構），半膜片式空氣彈簧，采用進口三水平調節閥技術，反應靈敏，響應迅速，在超載偏重的實驗條件下，能瞬間恢復初始的平衡狀態。支撐腿內部為二級氣室結構，氣室間帶有阻尼孔，氣動元件全部采用德國FESTO產品，標配優質大功率壓縮機，整體結構保證平臺有較高的穩定性。