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探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。簡易型組合式探針臺結構小巧，功能實用，成本較低的簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎上，去除了非必要得部件，該探針臺系統包含：光學成像部分，隔振平臺探針座，四維調整載片臺（Chuck），真空吸附系統；譜量光電可以根據客戶應用搭建探針臺，以達到更好得使用效果和性價比。