目錄:沈陽科晶自動化設備有限公司>>清洗設備>>等離子清洗>> PCE-8等離子清洗機
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 5萬-10萬 |
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| 應用領域 | 綜合 |
PCE-8等離子清洗機是一款較大型的清洗機,等離子腔體為 ?8.5"×12"的石英腔體,采用的射頻電源功率0- 100W連續可調節,采用的射頻為13.56MHz。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理,將對生長具有顯著的作用。配有一個直連式雙旋真空泵,可對腔體進行抽真空,同時通入氬氣等保護氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。采用6″彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。內部配有0-500mm/min的質量流量計,可以精確地控制進氣流量。
產品型號 | PCE-8等離子清洗機 |
主要特點 | 1、采用6″彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。 2、內部配有0-500mm/min的質量流量計,可以精確地控制進氣流量。 |
技術參數 | 1、電源:AC220V 2、射頻功率:zui大100W,可在0-100W間調節 3、真空泵功率:<500W 4、總功率:<600W 5、射頻:13.56MHz 6、等離子腔體:高純石英腔體,外徑 Φ8.5 ",內徑 Φ8.2 ",長12",采用鋁制折疊式法蘭進行真空密 封,法蘭設有一個Φ60mm的觀察窗口 7、極限真空度:50mtorr 8、通入氣體:可通入多種氣體,如N2、Ar、Air、H2、O2和混合氣體等等(根據材料性質所定) |
清洗及蝕刻 |  |
產品規格 | 尺寸:620mm×450mm×600mm |
標準配件 | 1、直連式雙旋真空泵(240L/min) 2、KF25波紋管 3、KF25手動擋板閥 |
可選配件 | 1、300W、600W射頻電源(進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗) 2、2″-6″石英舟(盛放基片) 3、2-4通道浮子混氣系統 4、2-4通道質子混氣系統 |
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