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電化學ECV在太陽能光伏行業的應用非常普及,是光伏行業電池技術研究和發展的必要工具之一。
1. ECV又名擴散濃度測試儀,結深測試儀等,即電化學CV法測擴散后的載流子濃度分布(見圖);
2. 相比其他方法如SRP,SIMS等,ECV具有測量使用方便,價格低的優點;
技術指標:載流子濃度測量范圍:1021/cm3,最小1011/cm3;深度解析度:無上限,最小可至1nm。主要功能:使用電化學電容-電壓法測量半導電材料的摻雜濃度分布。ECV又名擴散濃度測試儀,結深測試儀等,即電化學CV法測擴散后的載流子濃度分布。電化學ECV可以用于太陽能電池、LED等產業,是化合物半導體材料研究或開發的主要工具之一。電化學ECV主要用于半導體材料的研究及開發,其原理是使用電化學電容-電壓法來測量半導體材料的摻雜濃度分布。電化學ECV(CV-Profiler, C-V Profiler)也是分析或發展半導體光-電化學濕法蝕刻(PEC Etch
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