襯底的定義

1. 襯底的物理與化學(xué)性質(zhì)

襯底，或稱基片（substrate），是指在半導(dǎo)體器件制造過程中用來支持其他材料或結(jié)構(gòu)的底層材料。襯底的物理性質(zhì)包括其晶體結(jié)構(gòu)、機(jī)械強(qiáng)度、熱導(dǎo)率、膨脹系數(shù)等，而化學(xué)性質(zhì)則涵蓋其純度、表面化學(xué)穩(wěn)定性、化學(xué)反應(yīng)活性等。常見的襯底材料如硅（Si）、砷化鎵（GaAs）、碳化硅（SiC）等，因其物理與化學(xué)性質(zhì)而被廣泛應(yīng)用。

2. 襯底的作用與功能

在半導(dǎo)體制造中，襯底起到至關(guān)重要的支撐作用。首先，襯底為后續(xù)的材料沉積和器件制作提供了一個(gè)平整且穩(wěn)定的基礎(chǔ)，其次，襯底材料的選擇直接影響器件的性能和制造成本。此外，襯底還需具備良好的機(jī)械強(qiáng)度和熱導(dǎo)率，以支持器件在高功率和高溫條件下穩(wěn)定運(yùn)行。