產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 醫療衛生,環保,生物產業,文體 |
產品簡介
詳細介紹
Hitachi日立高新磁控濺射器MC1000(Hitachi Ion Sputter )采用了電磁管電極,能夠大限度地減輕對樣品的損壞,并在樣品表面涂覆一層均勻粒子。適用于高分辨率的掃描式電子顯微鏡。
z大樣品直徑:60 mm
z大樣品高度:20 mm
Hitachi日立高新磁控濺射器MC1000?特點:
采用LCD觸摸屏,可以更加簡便地設定加工條件
可處理較厚或較大的樣品(選配件)
記憶功能可存儲常用加工條件
規格:
項目 | 說明 | |
放電 | 類型 | 磁控二極管放電型(電場垂直于磁場) |
電極組成 | 反向平行盤(嵌入磁鐵) | |
電壓 | 大0.4Kv DC(直流可變) | |
電流 | 大40mA DC | |
噴鍍速率(大)[條件] 壓力:7Pa 放電電流:40mA 標靶與樣品表面之間的距離:20mm | Pt靶(選配件) | 15nm/min |
Pt-Pd靶(選配件) | 20nm/min | |
Au靶(選配件) | 35nm/min | |
Au-Pd靶(選配件) | 25nm/min | |
樣品尺寸 | 大直徑 | Ф60mm |
大高度 | 20mm | |
機械泵 | 135/162 L/min(50/60Hz) | |
靶材﹡² | Pt, Pt-Pd (8: 2), Au, Au-Pd(6: 4) | |
電源要求 | 單相,100VAC(±10%)15A(50/60Hz)3-針插頭線纜(3m) | |
尺寸 | 寬度 | 450mm |
長度 | 391mm | |
高度 | 390mm | |
重量 | 主機:約25Kg 機械泵:約28kg | |
﹡¹:噴鍍速率僅供參考 ﹡²:主機內不包括靶材。請從選項中選擇(鉑,鉑-鈀,金,金-鈀) |
注:該儀器未取得中華人民共和國醫療器械注冊證,不可用于臨床診斷或治療等相關用途