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中國科大理化科學實驗中心儀器上新，國產掃描電鏡SEM3100開放試運行

閱讀：3265 發布時間：2022-3-16

近日，中國科學技術大學理化科學實驗中心發布儀器上新公告，掃描電子顯微鏡SEM3100完成調試，各項指標符合要求，投入試運行。該款掃描電鏡由國儀量子自主研發，各項技術指標*、擴展性強、用戶體驗佳，將為“中心"提供高性能的檢測分析工具，也為國產科學儀器的發展起到示范作用。

國儀量子掃描電鏡SEM3100交付現場

試運行開放方式

試運行期間免費，有測試需求的老師和同學請與機組聯系。

詳見公眾號國儀量子+

中國科學技術大學理化科學實驗中心是中國科學技術大學公共技術創新平臺實驗中心之一，從1979年開始籌建。中心以“集中投入、統一管理、開放公用、資源共享"為建設原則，以建立條件優良、功能配套、管理規范、先進高效的優質資源和共享機制為建設目標，為培養創新人才和開展高水平科學研究工作提供技術支撐，為社會經濟建設提供技術保障。作為學校最早建成的大型儀器開放平臺，中心不僅承擔著相關院系、國家研究中心、國家重點實驗室，省部級實驗室以及國家、省部級等各類科研項目的技術支持分析測試任務，同時，也對相關學科提供教學、科研實驗條件與環境。

中國科學技術大學理化科學實驗中心

鎢燈絲掃描電子顯微鏡SEM3100

國儀量子鎢燈絲掃描電子顯微鏡SEM3100

國儀量子鎢燈絲掃描電子顯微鏡SEM3100是一款高性能的掃描電子顯微鏡，擁有可達3nm分辨率和出色的成像質量。放大倍率連續可調，在不同的視場范圍下均可得到高亮度的清晰圖像。大景深，成像富有立體感。配備的超大樣品倉和低電壓模式，可容納最大直徑為370 mm的樣品，極大地擴展了SEM3100的應用范圍。

豐富的擴展性

掃描電子顯微鏡不只用于表面形貌的觀察，還可以進行樣品表面的微區成分分析。SEM3100擁有超大的樣品倉，接口豐富，除支持常規的二次電子探測器（ETD）、背散射電子探測器（BSED）、能譜儀（EDS）外，也預留了諸多接口，諸如電子背散射衍射（EBSD）、波譜儀（WDS）、陰極熒光（CL）等探測器都可以在SEM3100上進行集成。

背散射探測器

二次電子成像和背散射成像對比。背散射像下，樣品的荷電效應明顯減弱，并且具有很好的成分襯度，適合進行成分觀察。