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超高分辨場發射掃描電子顯微鏡

SEM5000X是一款超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡，其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實現了低電壓分辨率的進一步提升。全新設計的樣品倉，擴展接口增加至16個，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴展應用范圍。高級掃描模式和自動功能增強，帶來了更強的性能和更好的體驗。

產品優勢：

•超高分辨率成像，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

•樣品臺減速和高壓隧道技術組合的雙減速技術，挑戰極限樣品拍攝場景

•高精度機械優中心樣品臺、超穩定性的機架減震設計，可搭配整體罩殼設計，極大減弱環境對極限分辨率的影響

•最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導體和科研應用需求

應用案例

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