掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器、具有很多*的性能、是用途廣泛的一種儀器.它可以進行如下基本分析:
1、觀察納米材料:其具有很高的分辨率,可以觀察組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1-100nm范圍內,在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。
2、材料斷口的分析:其景深大,圖象富立體感,具有三維形態,能夠從斷口形貌呈現材料斷裂的本質,在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段。
3、直接觀察大試樣的原始表面:它能夠直接觀察直徑100mm,高50mm,或更大尺寸的試樣,對試樣的形狀沒有任何限制,粗糙表面也能觀察,這便免除了制備樣品的麻煩,而且能真實觀察試樣本身物質成分不同的襯度(背散射電子象)。
4、觀察厚試樣:其在觀察厚試樣時,能得到高的分辨率和*真實的形貌。
5、觀察試樣的各個區域的細節:試樣在樣品室中可動的范圍非常大,可以在三度空間內有6個自由度運動(即三度空間平移、三度空間旋轉),這對觀察不規則形狀試樣的各個區域帶來極大的方便。
6、在大視場、低放大倍數下觀察樣品,用掃描電鏡觀察試樣的視場大:大視場、低倍數觀察樣品的形貌對有些領域是很必要的,如刑事偵察和考古。
7、進行從高倍到低倍的連續觀察:掃描電鏡的放大倍數范圍很寬(從5到20萬倍連續可調),且一次聚焦好后即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續觀察,不用重新聚焦,這對進行分析特別方便。
8、觀察生物試樣:由于電子照射面發生試樣的損傷和污染程度很小,這一點對觀察一些生物試樣特別重要。
9、進行動態觀察:如果在樣品室內裝有加熱、冷卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件,則可以觀察相變、斷烈等動態的變化過程。
10、從試樣表面形貌獲得多方面資料:因為掃描電子象不是同時記錄的,它是分解為近百萬個逐次依此記錄構成的。使得掃描電鏡除了觀察表面形貌外還能進行成分和元素的分析,以及通過電子通道花樣進行結晶學分析,選區尺寸可以從10μm到3μm。
現在掃描電鏡已廣泛用于材料科學(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學、醫學、半導體材料與器件、地質勘探、病蟲害的防治、災害(火災、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業生產中的產品質量鑒定及生產工藝控制等。
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