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FIB聚焦離子束

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  • 型號(hào) MI4050
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更新時(shí)間:2024/09/24 14:22:37瀏覽次數(shù):2411

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應(yīng)用領(lǐng)域 電子
Hitachi聚焦離子束 IM4050:MI4050是高效率的聚焦離子束設(shè)備,它使用了全新的電子光學(xué)系統(tǒng),具有shi界的SIM圖像分辨率,并且TEM樣品制備效果優(yōu)異。MI4050廣泛用于截面觀察、微電路修復(fù)、納米圖像制備和納米沉積等。

詳細(xì)介紹

  日立新型FIB…智能聚焦離子束系統(tǒng) IM4050
 
  自1986年以來(lái),通過(guò)多年的fIB經(jīng)驗(yàn),MI 4050被賦予了高度穩(wěn)定的離子源,所建立的離子光學(xué)使銳利的光束剖面和高束電流能夠成像各種功能。 DED功能涵蓋對(duì)FIB的廣泛需求,如氣體化學(xué)MI 4050可以幫助您推進(jìn)您的研究和開(kāi)發(fā)。
 
  MI 4050特征
 
  經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的聚焦離子束技術(shù)既能實(shí)現(xiàn)高分辨率、高對(duì)比度的SIM成像,又能快速、大面積FIB銑削。
 
  良好的梁穩(wěn)定性,級(jí)精度和控制軟件允許高精度的自動(dòng)銑削加工。
 
  微采樣系統(tǒng)和低壓FIB能力支持現(xiàn)場(chǎng)高質(zhì)量TEM樣品制備。
 
  ?
 
  大電流FIB使銑削面積更大,材料更堅(jiān)硬,并且比以往任何時(shí)候都更高的吞吐量。高通量離子研磨有助于減少像樹(shù)脂emb這樣的樣品準(zhǔn)備步驟。 編輯和機(jī)械拋光。此外,也可以避免因拋光而產(chǎn)生的樣品應(yīng)變或分層。
 
  大電流為90 nA的高性能FIB
 
高分辨率、高對(duì)比度SIM成像。
 
  保證了4nm的高分辨率。高對(duì)比度SIM從低放大率成像到高放大率。
 
自動(dòng)切割的三維結(jié)構(gòu)分析
 
用微取樣法制備現(xiàn)場(chǎng)高質(zhì)量TEM樣品
 
  微取樣系統(tǒng)
 
       主要特點(diǎn):
 
  1.高效率、高質(zhì)量加工,二次離子分辨率:4nm@30kV
 
  2.高分辨、高襯度SIM成像
 
  3.全自動(dòng)TEM樣品制備
 
  4.大尺寸樣品加工
 
  應(yīng)用領(lǐng)域:
 
  1.納米材料微加工
 
  2.半導(dǎo)體及電子元器件材料
 
  3.生命科學(xué)

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