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上海西努光學科技有限公司

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合作共贏 共話芯片

閱讀:200      發布時間:2021-6-2
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2021年5月25日,日立科學儀器(北京)有限公司總裁顧家暉先生、電鏡營業部部長刁雪蓮女士一行蒞臨西努光學參觀指導,也就近年來在日立電鏡產品的市場合作開拓等方面進行了友好交流。

日立科學儀器有限公司進入中國已有57年,業務包括納米技術解決方案、分析解決方案及產業解決方案。其中,納米技術解決方案集中和強化了電子束技術, 開創了面向半導體整體解決方案和新材料技術領域的新應用。

 

 

在眾多產品中,Regulus系列是日立引以為傲的超高分辨率冷場掃描電子顯微鏡,分辨率高達0.6nm@15kV,0.7nm@1kV,它優異的低加速電壓性能滿足半導體客戶不噴金直接觀察導電性差的分析樣品需求;同時新升級的光學系統使得束流可達20nA以上,打破了冷場電鏡不能做EBSD(電子背散射衍射)的桎梏;ExB核心技術實現對信號的高效探測,與轉換電極結合允許進行信號選擇,同一個探測器既可以探測二次電子獲取的形貌像,也可以探測背散射電子獲取成分襯度像,還可以進行信號混合采集。 

 

 

超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡SU9000專門為電子束敏感樣品和需*大300萬倍穩定觀察的14nm以下先進半導體器件高分辨成像所設計。新的電子槍和電子光學設計提高了低加速電壓性能,分辨率高達0.4 nm / 30 kV (SE),1.2 nm / 1 kV (SE),0.34 nm / 30 kV (STEM)。并使用改良的高真空性能和電子束穩定性來實現高效率截面觀察。

西努光學自2003年成立以來,始終致力于以“以光學及圖像算法為核心,為用戶提供檢測解決方案”推動智能檢測裝備的轉型升級,公司將顯微光學成像技術以及圖像算法應用于檢測技術,幫助工業企業、科研高校等客戶實現智能化檢測發展,產品功能涵蓋缺陷檢測、智能制造、實驗室理化解決方案等多個領域。近年來隨著國內半導體制造業蓬勃發展,西努光學結合自身優勢,不斷探索,現已為多家企業提供完善的半導體生產及失效分析整體解決方案。

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