厚膠/電子束光刻膠/薄膠/Lift off光刻膠 可定制

光刻膠分類總結

光刻膠是半導體制程進步的“燃料”

在集成電路制造領域，如果說光刻機是推動制程進步的“引擎”，光刻膠是這部“引擎”的“燃料”。下圖展示了光刻膠如何在一個NMOS三極管的制造工藝中發揮作用。NMOS三級管是半導體制程工藝中常用的集成電路結構之一。

一種 NMOS 三極管集成電路結構的制造過程

在這樣一個例子中，步驟1中的綠色部分紅色部分多晶硅材料被涂上了一層光刻膠。在步驟2的光刻曝光過程中，黑色的掩膜遮擋范圍之外的光刻膠被都被光刻光源照射，發生了化學性質的改變，在步驟3中表現為變成了墨綠色。在步驟4里，經過顯影之后，紅色表征的多晶硅材料上方只有之前被光罩遮擋的地方留下了光刻膠材料。

于是，光罩（掩模版）上的圖形被轉移到了多晶硅材料上，完成了“光刻”的過程。在此后的步驟5到步驟7里，基于“光刻”過程在多晶硅材料上留下的光刻膠圖形，“多晶硅層刻蝕”、“光刻膠清洗”和“N+離子注入”工藝共同完成了一個NMOS 三極管的構造。

上圖步驟1中的光刻膠涂膠過程也是一種重要的半導體工藝。其目的是在晶圓表面建立輕薄，均勻且沒有缺陷的光刻膠膜。一般來說，光刻膠膜厚度從0.5um到1.5um 不等，厚度的誤差需要在正負0.01um以內。半導體光刻膠的涂敷方法主要是旋轉涂膠法，具體可以分為靜態旋轉法和動態噴灑法。

靜態旋轉法涂膠過程示意圖

靜態旋轉法：先把光刻膠通過滴膠頭堆積在硅片的中心，然后低速旋轉使得光刻膠鋪開，再以旋轉甩掉多余的光刻膠。在旋轉的過程中，光刻膠中的溶劑會揮發一部分。這個過程可以如圖表16中所示。靜態涂膠法中的光刻膠堆積量關鍵，量少了會導致光刻膠不能充分覆蓋硅片，量大了會導致光刻膠在硅片邊緣堆積甚至流到硅片的背面，影響工藝質量。

合格與不合格的靜態涂膠過程示意圖

動態噴灑法：隨著硅片尺寸越來越大，靜態涂膠已經不能滿足新的硅片加工需求。相對靜態旋轉法而言，動態噴灑法在光刻膠對硅片進行澆注的時刻開始以低速旋轉幫助光刻膠進行初的擴散。這種方法可以用較少量的光刻膠形成更均勻的光刻膠鋪展，終以旋轉形成滿足厚薄與均勻度要求的光刻膠膜。

動態噴灑法涂膠過程示意圖

隨著IC集成度的，集成電路的制程工藝水平按已由微米級、亞微米級、深亞微米級進入到納米級階段。集成電路線寬不斷縮小的趨勢，對包括光刻在內的半導體制程工藝提出了新的挑戰。在半導體制程的光刻工藝中，集成電路線寬的特征尺寸可以由如右所示的瑞利公式確定：CD= k1*λ/NA

產品供應；

產品名稱 cas

1-丙烯酸金剛烷酯 121601-93-2

1-金剛烷基甲基丙烯酸酯 16887-36-8

丙烯酸三環[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 7398-56-3

4-乙酰氧基苯乙烯 2628-16-2

1,3-金剛烷二醇單丙烯酸酯 216581-76-9

2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 249562-06-9

2-乙基-2-金剛烷基丙烯酸酯 303186-14-3

1,3-金剛烷二醇二丙烯酸酯 81665-82-9

2-氧代六氫-2H-3,5-亞甲基環戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 254900-07-7

甲基丙烯酸三環[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[ 34759-34-7

2-異丙基-2-金剛烷丙烯酸甲酯 297156-50-4

2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 251564-67-7

gamma-丁內酯-3-基異丁烯酸酯 130224-95-2

N-異丙基甲基丙烯酰胺 13749-61-6

(9H-芴-9,9-二基)雙(亞甲基)二丙烯酸酯 583036-99-1

(5-氧代四氫-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 156938-09-9

1-乙基環戊基甲基丙烯酸酯 266308-58-1

1-異丙基-1-環己醇甲基丙烯酸酯 811440-77-4

2-甲基-2-丙烯酸4-羥基苯基酯 31480-93-0

n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate 170216-64-5

2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 4224-69-5

甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 31645-35-9

2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ 347886-81-1

2-乙烯基萘 827-54-3

2-環己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 186585-56-8

2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氫-呋喃-3-基酯 195000-66-9

丙烯酸甲基環戊酯 178889-49-1

丙烯酸1-乙基環戊酯 326925-69-3

2-氧代四氫-呋喃-3-基丙烯酸酯 328249-37-2

4-叔丁氧基苯乙烯 95418-58-9

4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 69260-42-0

甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 13695-31-3

3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene 16215-47-7

acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol 57142-64-0

1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 157057-20-0

1-甲基環己基甲基丙烯酸酯 76392-14-8

2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 1176273-16-7

2,5-二甲基己烷-2,5-二基雙(2-甲基丙烯酸酯) 131787-39-8

1-甲基環戊基甲基丙烯酸酯 178889-45-7

1-乙基環己基甲基丙烯酸酯 274248-09-8

4-異丙基苯酚 4286-23-1

(2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate 13818-44-5

乙酸-2-乙烯基苯基酯 63600-35-1

2-(金剛烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 325991-26-2

1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate 51920-52-6

甲基丙烯酸四氫-呋喃-2-基酯 15895-80-4

oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate 52858-59-0

6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one 1267624-16-7

3-叔丁氧基苯乙烯 105612-79-1

2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 13732-00-8

2,3-二羥基丙烯酸丙酯 10095-20-2

2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]環氧乙烷 2653-39-6

3,5-二乙酰氧基苯乙烯 155222-48-3

2-(2,2-二氟乙烯基)雙環[2.2.1]庚烷 123455-94-7

二苯基碘酰氯 1483-72-3

雙［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓與三氟甲磺酸的鹽 84563-54-2

全氟丁基磺酸三苯基锍鹽 144317-44-2

雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓 5421-53-4

TBPDPS-PFBS 258872-05-8

1二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸鹽 194999-85-4

(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 111281-12-0

N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸 85342-62-7

六氟二酐（6FDA) 1107-00-2

9,9-雙(3-氟-4-氨基苯基)芴 (FFDA) 127926-65-2

9,9-雙(4-氨基苯基)芴 （FDA) 15499-84-0

4,4’-二氨基-2,2’-二甲基聯苯 (M-Tolidine) 84-67-3

2,2-雙(3-氨基-4-羥基苯基) 六氟丙烷 83558-87-6

1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯 (APB) 10526-07-5

4,4'-雙(4-氨苯氧基)聯苯(BAPB) 13080-85-8

1,3-雙(4-氨苯氧基)苯 2479-46-1

4,4-二氨基聯苯-2,2-二羧酸 17557-76-5

2,2'-雙(三氟甲基)-4,4'-二氨基苯基醚 344-48-9

ODA 4,4'-二氨基二苯醚 101-80-4

BAPP 2,2'-雙[4-(4-氨基苯氧基苯基)]丙烷 13080-86-9

TPE-Q 1,4-雙(4-氨基苯氧基)苯 3491/12/1

BPADA 雙酚A型二醚二酐 38103-06-9

BTDA 3,3',4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐 2421-28-5

BPDA 3,3',4,4'-聯苯四羧酸二酐 2420-87-3

CBDA 環丁烷四甲酸二酐 4415-87-6

DABA 3,5-二氨基苯甲酸 535-87-5

TFMB 2,2'-雙(三氟甲基)二氨基聯苯 341-58-2

A-BPDA 2,3,3',4'-聯苯四甲酸二酐 36978-41-3

BOAFL 9,9-二[(2,3-環氧丙氧基)苯基]芴 47758-37-2

TCA 四氫-1H-5,9-甲烷吡喃并[3,4-d]噁英-1,3,6,8(4H)-四酮 6053-46-9

ODPA 4,4'-氧雙鄰苯二甲酸酐 1823-59-2

A-ODPA 3,4'-氧雙鄰苯二甲酸酐 50662-95-8

HFBAPP 2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷 69563-88-8

4-溴-N-苯基咔唑 1097884-37-1

3,6-二溴-9-(2-乙基己基)-9h-咔唑 173063-52-0

N-(2-萘基)-3-溴咔唑 934545-80-9

1-溴-N-苯基咔唑 1333002-37-1

3,6-二叔丁基咔唑 37500-95-1

3,6-二溴咔唑 6825-20-3

1-溴咔唑 16807-11-7

2-溴咔唑 3652-90-2

2-氯咔唑 10537-08-3

2-羥基咔唑 86-79-3

3-溴咔唑 1592-95-6

3,6-二苯基-9H-咔唑 56525-79-2

4-溴-9H-咔唑 3652-89-9

3-苯基-9H-咔唑 103012-26-6

11,12-二氫-12,12-二甲基茚并[1,2-a]咔唑 1329054-41-2

9-(4-溴苯基)咔唑 57102-42-8

10-溴-7H-苯并[c]咔唑 1698-16-4

9-(3-溴苯基)-9H-咔唑 185112-61-2

9-(2-溴苯基)-9H-咔唑 902518-11-0

3-溴-N-苯基咔唑 1153-85-1

3,6-二溴-9-苯基咔唑 57103-20-5

3-碘-9-苯基咔唑 502161-03-7

9-(1-萘基)-3-溴咔唑 934545-83-2

3-(4-溴苯基)-9-苯基-9H-咔唑 1028647-93-9

2-溴-9-苯基-9H-咔唑 94994-62-4

2-(2-氯-苯基)-1H-苯并咪唑 3574-96-7

3,3'-聯咔唑 1984-49-2

3,9'-聯咔唑 18628-07-4

吲哚并[3,2-b]咔唑 241-55-4

吲哚并[3,2-b]咔唑 6336-32-9

5,11-二氫-11,11-二甲基茚并[1,2-b]咔唑 1260228-95-2

5,7-二氫-7,7-二甲基-茚并[2,1-b]咔唑 1257220-47-5

9-(4'-溴聯苯-4-基)-9H-咔唑 212385-73-4

4,4'-二(9-咔唑)聯苯 58328-31-7

5,12-二氫-12,12-二甲基茚并[1,2-c]咔唑 1346645-54-2

5,7-二氫-吲哚并[2,3-b]咔唑 111296-90-3

吲哚并[2,3-a]咔唑 60511-85-5

9H-咔唑-3-硼酸頻哪醇酯 855738-89-5

9-(4-苯基苯基)咔唑 6299-16-7

14H-苯并[c]苯并[4,5]噻吩并[2,3-a]咔唑 1313395-18-4

9-(2-萘基)-3,6-二溴咔唑 1221237-83-7

2,7-二溴咔唑 36630-39-2

2-苯基-9H-咔唑 88590-00-5

咔唑 86-74-8

9H-咔唑-3,6-二甲腈 57103-03-4

3,6-二碘咔唑 57103-02-3

3-氰基咔唑 57102-93-9

9,9'-二([1,1'-聯苯]-4-基)-3,3'-聯-9H-咔唑 57102-51-9

3-氯咔唑 2732-25-4

N-(3-聯苯基)-N-(4-聯苯基)-3,3-雙咔唑 1643479-47-3

5,7-二氫-5-苯基吲哚[2,3-b]咔唑 1448296-00-1

9'-苯基-9H,9H'-3,3'-咔唑 1060735-14-9

3,6-二乙氧基咔唑 1707264-12-7

9-苯基-9H,9H-3,3-咔唑 10607435-14-9

9-乙烯卡唑 1484-13-5

4-硼酸三苯胺 201802-67-7

二苯并噻吩-4-硼酸 108847-20-7

(3,5-二苯基苯)硼酸 128388-54-5

3-溴苯硼酸 89598-96-9

苯硼酸 98-80-6

2-硝基苯基硼酸 5570-19-4

2-氟苯硼酸 1993/3/9

4-甲苯硼酸 5720/5/8

2,4-二氟苯硼酸 144025-03-6

4-氟苯硼酸 1765-93-1

2-氯-苯基硼酸 3900-89-8

3-氯苯硼酸 63503-60-6

2-聯苯硼酸 4688-76-0

3-聯苯硼酸 5122-95-2

4-聯苯硼酸 5122-94-1

1-萘硼酸 13922-41-3

2-萘硼酸 32316-92-0

9-蒽硼酸 100622-34-2

熒蒽-3-硼酸 359012-63-8

9-菲硼酸 68572-87-2

4-(1-萘基)苯硼酸 870774-25-7

4-(2-萘基)苯硼酸 918655-03-5

苯并菲-2-硼酸 654664-63-8

1-芘硼酸 164461-18-1

(10-苯基蒽-9-基)硼酸 334658-75-2

[10-(1-萘基)-9-蒽]硼酸 400607-46-7

B-(10-[1,1'-聯苯]-4-基-9-蒽基)硼酸 400607-47-8

9,9-二甲基芴-2-硼酸 333432-28-3

9,10-雙(2-萘基)蒽-2-硼酸 867044-28-8

10-(2-萘基)蒽-9-硼酸 597554-03-5

9,9-二甲基-2,7-芴二硼酸 866100-14-3

B-9,9'-螺二芴-2'-基硼酸 236389-21-2

B-[3-(4-二苯并噻吩基)苯基]硼酸 1307859-67-1

B,B'-2,8-二苯并呋喃二基二硼酸 1222008-13-0

吡啶-3-硼酸 1692-25-7

喹啉-3-硼酸 191162-39-7

喹啉-8-硼酸 86-58-8

9H-咔唑-1-基硼酸 869642-36-4

二苯并噻吩-2,8-二硼酸 761405-37-2

9-苯基咔唑-2-硼酸 1001911-63-2

(9-苯基-9H-咔唑-3-基)硼酸 854952-58-2

4-(9H-咔唑-9-基)苯硼酸 419536-33-7

3-(9H-咔唑-9-基)苯硼酸 864377-33-3

B-[2-(9H-咔唑-9-基)苯基]硼酸 1189047-28-6

二苯并呋喃-4-硼酸 100124-06-9

B-2-二苯并噻吩基硼酸 668983-97-9

聯硼酸新戊二醇酯 201733-56-4

聯硼酸頻那醇酯 73183-34-3

二苯并噻吩-2,8-二硼酸 761405-37-2

4-溴苯硼酸 5467-74-3

4-氯苯硼酸 1679-18-1

硼酸三異丙酯 5419-55-6

3-(2-三亞苯基苯硼酸)頻哪醇酯 1115639-92-3

3-甲氧基-2-萘硼酸 104115-76-6

Benzofuran-2-boronic acid CAS 98437-24-2

2,4-Dichlorophenylboronic acid CAS 68716-47-2

[3-(3-Pyridinyl)phenyl]boronic acid CAS 351422-72-5

9-(3-bromophenyl)-9-phenyl-9H-fluorene 1257251-75-4

B-[4-(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯基]-硼酸 952514-79-3

[4-(2-苯基-1H-苯并咪唑-1-基)苯基]硼酸 867044-33-5

四氟硼酸銀 14104-20-2

三亞苯-2-基)硼酸頻哪醇酯 890042-13-4

9,9-螺二芴-2-硼酸頻哪醇酯 884336-44-1

3-氟-2-甲酰基苯硼酸 871126-15-7

5-氯-2-甲酰基苯硼酸 870238-36-1

B-(10-[1,1'-聯苯]-2-基-9-蒽基)硼酸 400607-48-9

4-（3-吡啶基)苯硼酸 170230-28-1

2-氯-4-(聯苯-3-基)-6-苯基-1,3,5-三嗪 1689576-03-1

4-硼酸三苯胺 201802-67-7

9-菲硼酸新戊二醇酯 1416371-19-1

3,5-二甲基苯硼酸 172975-69-8

二苯并[b,d]呋喃-3-硼酸 395087-89-5

*，、貨期短，提供核磁，HPLC，LCMS,GC圖譜 ，，，

本公司產品用于科研，不用于人體。

以上資料西安齊岳生物科技有限公司提供

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