齊岳生物提供半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)品（含產(chǎn)品目錄）

時(shí)間：2021-1-25閱讀：1321

含硅光刻膠

為了避免光刻膠線條的倒塌，線寬越小的光刻工藝，要求光刻膠的厚度越薄。

在20nm節(jié)點(diǎn)，光刻膠的厚度已經(jīng)減少到了100nm左右。但是薄光刻膠不能的阻擋等離子體對(duì)襯底的刻蝕。為此，了含Si的光刻膠，這種含Si光刻膠被旋涂在一層較厚的聚合物材料（常被稱作Underlayer），其對(duì)光是不敏感的。曝光顯影后，利用氧等離子體刻蝕，把光刻膠上的圖形轉(zhuǎn)移到Underlayer上，在氧等離子體刻蝕條件下，含Si的光刻膠刻蝕速率遠(yuǎn)小于Underlayer，具有較高的刻蝕選擇性。

含有Si的光刻膠是使用分子結(jié)構(gòu)中有Si的有機(jī)材料合成的，例如硅氧烷，硅烷，含Si的丙烯酸樹脂等。

光刻膠又稱光致抗蝕劑，是一種對(duì)光敏感的混合液體。其組成部分包括：光引發(fā)劑（包括光增感劑、光致產(chǎn)酸劑）、光刻膠樹脂、單體、溶劑和其他助劑。光刻膠可以通過光化學(xué)反應(yīng)，經(jīng)曝光、顯影等光刻工序?qū)⑺枰奈⒓?xì)圖形從光罩（掩模版）轉(zhuǎn)移到待加工基片上。依據(jù)使用場(chǎng)景，這里的待加工基片可以是集成電路材料，顯示面板材料或者印刷電路板。

光刻膠按應(yīng)用領(lǐng)域分類，可分為 PCB 光刻膠、顯示面板光刻膠、半導(dǎo)體光刻膠及其他光刻膠。

市場(chǎng)上不同種類光刻膠的市場(chǎng)結(jié)構(gòu)較為均衡，具體占比可以如下圖所示。

目前，本土光刻膠以PCB用光刻膠為主，平板顯示、半導(dǎo)體用光刻膠供應(yīng)量占比。本土光刻膠企業(yè)生產(chǎn)結(jié)構(gòu)可以如圖所示。

齊岳生物供應(yīng)產(chǎn)品：

產(chǎn)品	型號(hào)	光源	類型	分辨率	厚度（um)	適用范圍
厚膠 Thick Resist	SU-8 GM10xx系列	g/h/i-Line	負(fù)性	0.1um	0.1-200	具有較大的高寬比，透明度高，垂直度。
	SU-8 Microchem	g/h/i-Line	負(fù)性	0.5um	0.5-650	具有較大的高寬比，透明度高，垂直度。
		g/h/i-Line	正性	1um	1—30	可用于選擇性電鍍電鍍，深硅刻蝕等工藝。
	NR26-25000P	g/h/i-Line	負(fù)性		20-130	厚度大，相對(duì)容易去膠。
電子束光刻膠	型號(hào)	光源	類型	分辨率	厚度（um)	適用范圍
	SU-8 GM1010	電子束	負(fù)性	100nm	0.1-0.2	可用于做高寬比較大的納米結(jié)構(gòu)。
	HSQ	電子束	負(fù)性	6nm	30nm~180nm	分辨率較好的光刻膠，抗刻蝕。
	XR-1541-002/004/006	電子束	負(fù)性	6nm	30nm~180nm	分辨率較好的光刻膠，抗刻蝕。
	HSQ Fox-15/16	電子束	負(fù)性	100nm	350nm~810nm	分辨率較好的光刻膠，抗刻蝕。
	PMMA(國產(chǎn))	電子束	正性	\	\	高分辨率，適用于電子束光刻工藝，較常用的電子束光刻正膠。
	PMMA（）	電子束	正性	\	\	MicroChem，分子量，適用于電子束光刻工藝，較常用的電子束光刻正膠。
薄膠	型號(hào)	光源	類型	分辨率	厚度（um)	適用范圍
	S18xx系列	g-Line	正性	0.5um	0.4-3.5	較常用的薄光刻膠，分辨率高，穩(wěn)定。
	SPR955系列	i-Line	正性	0.35um	0.7-1.6	高分辨率（0.35um）光刻膠，穩(wěn)定。
	BCI-3511	i-Line	正性	0.35um	0.5-2	國產(chǎn)0.35um光刻膠，已經(jīng)在量產(chǎn)單位規(guī)模使用。
	NRD6015	248nm	負(fù)性	0.2um	0.7-1.3	國產(chǎn)深紫外光刻膠，已經(jīng)在量產(chǎn)單位規(guī)模使用。
Lift off光刻膠	型號(hào)	光源	類型	分辨率	厚度（μm)	適用范圍
	KXN5735-LO	g/h/i-Line	負(fù)性	4μm	2.2-5.2	負(fù)性光刻膠;倒角65-80°，使用普通正膠顯影液顯影。
	LOL2000/3000	g/h/i-Line	/	NA	130nm-300nm	非感光性樹脂，可以被顯影液溶解，作為lift off雙層膠工藝中底層膠使用。
	ROL-7133	g/h/i-Line	/	4um	2.8-4	負(fù)性光刻膠，倒角75~80°，使用普通正膠顯影液。
光刻膠配套試劑	品名	主要成分	包裝	應(yīng)用	/	/
	正膠顯影液	TMAH 2.38%	4LR/PC	正膠顯影液	/	/
	正膠稀釋劑	PGMEA	4LR/PC	稀釋劑	/	/
	SU8 顯影液	PGMEA	4L/PC	顯影SU8光刻膠	/	/
	RD-HMDS	HMDS	500ml/PC	增粘劑	/	/
	OMNICOAT	見MSDS	500ml/PC	SU-8增粘劑	/	/

1-丙烯酸金剛烷酯	121601-93-2
1-金剛烷基甲基丙烯酸酯	16887-36-8
丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基酯	7398-56-3
4-乙酰氧基苯乙烯	2628-16-2
1,3-金剛烷二醇單丙烯酸酯	216581-76-9
2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯	249562-06-9
2-乙基-2-金剛烷基丙烯酸酯	303186-14-3
1,3-金剛烷二醇二丙烯酸酯	81665-82-9
2-氧代六氫-2H-3,5-亞甲基環(huán)戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯	254900-07-7
甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[	34759-34-7
2-異丙基-2-金剛烷丙烯酸甲酯	297156-50-4
2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯	251564-67-7
gamma-丁內(nèi)酯-3-基異丁烯酸酯	130224-95-2
N-異丙基甲基丙烯酰胺	13749-61-6
(9H-芴-9,9-二基)雙(亞甲基)二丙烯酸酯	583036-99-1
(5-氧代四氫-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯	156938-09-9
1-乙基環(huán)戊基甲基丙烯酸酯	266308-58-1
1-異丙基-1-環(huán)己醇甲基丙烯酸酯	811440-77-4
2-甲基-2-丙烯酸4-羥基苯基酯	31480-93-0
n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate	170216-64-5
2-(溴甲基)丙烯酸甲酯	4224-69-5
甲基丙烯酸-9-蒽甲酯	31645-35-9
2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[	347886-81-1
2-乙烯基萘	827-54-3
2-環(huán)己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯	186585-56-8
2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氫-呋喃-3-基酯	195000-66-9
丙烯酸甲基環(huán)戊酯	178889-49-1
丙烯酸1-乙基環(huán)戊酯	326925-69-3
2-氧代四氫-呋喃-3-基丙烯酸酯	328249-37-2
4-叔丁氧基苯乙烯	95418-58-9
4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸	69260-42-0
甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯	13695-31-3
3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene	16215-47-7
acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol	57142-64-0
1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯	157057-20-0
1-甲基環(huán)己基甲基丙烯酸酯	76392-14-8
2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯	1176273-16-7
2,5-二甲基己烷-2,5-二基雙(2-甲基丙烯酸酯)	131787-39-8
1-甲基環(huán)戊基甲基丙烯酸酯	178889-45-7
1-乙基環(huán)己基甲基丙烯酸酯	274248-09-8
4-異丙基苯酚	4286-23-1
(2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate	13818-44-5
乙酸-2-乙烯基苯基酯	63600-35-1
2-(金剛烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯	325991-26-2
1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate	51920-52-6
甲基丙烯酸四氫-呋喃-2-基酯	15895-80-4
oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate	52858-59-0
6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one	1267624-16-7
3-叔丁氧基苯乙烯	105612-79-1
2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯	13732-00-8
2,3-二羥基丙烯酸丙酯	10095-20-2
2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]環(huán)氧乙烷	2653-39-6
3,5-二乙酰氧基苯乙烯	155222-48-3
2-(2,2-二氟乙烯基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷	123455-94-7
二苯基碘酰氯	1483-72-3
雙［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓與三氟甲磺酸的鹽	84563-54-2
全氟丁基磺酸三苯基锍鹽	144317-44-2
雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓	5421-53-4
TBPDPS-PFBS	258872-05-8
1二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸鹽	194999-85-4
(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸	111281-12-0
N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸	85342-62-7

上述產(chǎn)品齊岳生物均可供應(yīng)1

WYF 01.25

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