g/i線光刻膠、KrF/ArF光刻膠在半導體集成電路中的應用
光刻膠是光刻成像的承載介質，其作用是利用光化學反應的原理將光刻系統中經過衍射、濾波后的光信息轉化為化學能量，進而完成掩模圖形的復制。目前，集成電路生產中使用的光刻膠一般由聚合物骨架、光致酸產生劑或光敏化合物、溶劑，以及顯影保護基團、刻蝕保護基團等其他輔助成分組成 。
光刻膠是一種有機化合物，它被紫外光曝光后，在顯影溶液中的溶解度會發生變化。硅片制造中所用的光刻膠以液態涂在硅片表面，而后被干燥成膠膜。
中文名：光刻膠
外文名：photoresist
別名：光致抗蝕劑
成分：感光樹脂、增感劑和溶劑
分類：負性膠和正性膠
硅片制造中，光刻膠的目的主要有兩個：光刻膠原理，小孔成像；源頭，古老的相機；
（1）將掩模版圖形轉移到硅片表面頂層的光刻膠中；
（2）在后續工藝中，保護下面的材料（例如刻蝕或離子注入阻擋層）。
在半導體集成電路制造行業；主要使用g線光刻膠、i線光刻膠、KrF光刻膠、ArF光刻膠等。在大規模集成電路的制造過程中，一般要對硅片進行過十次光刻。在每次的光刻和刻蝕工藝中，光刻膠都要通過預烘、涂膠、前烘、對準、曝光、后烘、顯影和蝕刻等環節，將光罩（掩膜版）上的圖形轉移到硅片上。
感光阻焊油墨用于 PCB
光刻膠是集成電路制造的重要材料：光刻膠的質量和性能是影響集成電路性能、成品率及性的關鍵因素。光刻工藝的成本約為整個芯片制造工藝的35%，并且耗費時間約占整個芯片工藝的40%-50%。光刻膠材料約占IC制造材料總成本的4%，市場。因此光刻膠是半導體集成電路制造的材料。
正性光刻膠顯影示意圖
按顯示分類；光刻膠可分為正性光刻膠和負性光刻膠。負性光刻膠顯影時形成的圖形與光罩（掩膜版）相反；正性光刻膠形成的圖形與掩膜版相同。兩者的生產工藝流程基本一致，區別在于主要原材料不同。
負性光刻膠顯影示意圖
按照化學結構分類；光刻膠可以分為光聚合型，光分解型，光交聯型和化學放大型。光聚合型光刻膠采用烯類單體，在光作用下生成自由基，進一步引發單體聚合，后生成聚合物；
光聚合反應示意圖
光分解型光刻膠，采用含有重氮醌類化合物(DQN)材料作為感光劑，其經光照后,發生光分解反應，可以制成正性光刻膠；光交聯型光刻膠采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料，在光的作用下，形成一種不溶性的網狀結構，而起到抗蝕作用，可以制成負性光刻膠。
產品供應：
| 產品名稱 | cas |
| 1-丙烯酸金剛烷酯 | 121601-93-2 |
| 1-金剛烷基甲基丙烯酸酯 | 16887-36-8 |
| 丙烯酸三環[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 | 7398-56-3 |
| 4-乙酰氧基苯乙烯 | 2628-16-2 |
| 1,3-金剛烷二醇單丙烯酸酯 | 216581-76-9 |
| 2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 | 249562-06-9 |
| 2-乙基-2-金剛烷基丙烯酸酯 | 303186-14-3 |
| 1,3-金剛烷二醇二丙烯酸酯 | 81665-82-9 |
| 2-氧代六氫-2H-3,5-亞甲基環戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 | 254900-07-7 |
| 甲基丙烯酸三環[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[ | 34759-34-7 |
| 2-異丙基-2-金剛烷丙烯酸甲酯 | 297156-50-4 |
| 2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 | 251564-67-7 |
| gamma-丁內酯-3-基異丁烯酸酯 | 130224-95-2 |
| N-異丙基甲基丙烯酰胺 | 13749-61-6 |
| (9H-芴-9,9-二基)雙(亞甲基)二丙烯酸酯 | 583036-99-1 |
| (5-氧代四氫-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 | 156938-09-9 |
| 1-乙基環戊基甲基丙烯酸酯 | 266308-58-1 |
| 1-異丙基-1-環己醇甲基丙烯酸酯 | 811440-77-4 |
| 2-甲基-2-丙烯酸4-羥基苯基酯 | 31480-93-0 |
| n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate | 170216-64-5 |
| 2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 | 4224-69-5 |
| 甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 | 31645-35-9 |
| 2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ | 347886-81-1 |
| 2-乙烯基萘 | 827-54-3 |
| 2-環己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 | 186585-56-8 |
| 2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氫-呋喃-3-基酯 | 195000-66-9 |
| 丙烯酸甲基環戊酯 | 178889-49-1 |
| 丙烯酸1-乙基環戊酯 | 326925-69-3 |
| 2-氧代四氫-呋喃-3-基丙烯酸酯 | 328249-37-2 |
| 4-叔丁氧基苯乙烯 | 95418-58-9 |
| 4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 | 69260-42-0 |
| 甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 | 13695-31-3 |
| 3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene | 16215-47-7 |
| acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol | 57142-64-0 |
| 1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 | 157057-20-0 |
| 1-甲基環己基甲基丙烯酸酯 | 76392-14-8 |
| 2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 | 1176273-16-7 |
| 2,5-二甲基己烷-2,5-二基雙(2-甲基丙烯酸酯) | 131787-39-8 |
| 1-甲基環戊基甲基丙烯酸酯 | 178889-45-7 |
| 1-乙基環己基甲基丙烯酸酯 | 274248-09-8 |
| 4-異丙基苯酚 | 4286-23-1 |
| (2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate | 13818-44-5 |
| 乙酸-2-乙烯基苯基酯 | 63600-35-1 |
| 2-(金剛烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 | 325991-26-2 |
| 1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate | 51920-52-6 |
| 甲基丙烯酸四氫-呋喃-2-基酯 | 15895-80-4 |
| oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate | 52858-59-0 |
| 6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one | 1267624-16-7 |
| 3-叔丁氧基苯乙烯 | 105612-79-1 |
| 2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 | 13732-00-8 |
| 2,3-二羥基丙烯酸丙酯 | 10095-20-2 |
| 2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]環氧乙烷 | 2653-39-6 |
| 3,5-二乙酰氧基苯乙烯 | 155222-48-3 |
| 2-(2,2-二氟乙烯基)雙環[2.2.1]庚烷 | 123455-94-7 |
| 二苯基碘酰氯 | 1483-72-3 |
| 雙［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓與三氟甲磺酸的鹽 | 84563-54-2 |
| 全氟丁基磺酸三苯基锍鹽 | 144317-44-2 |
| 雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓 | 5421-53-4 |
| TBPDPS-PFBS | 258872-05-8 |
| 1二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸鹽 | 194999-85-4 |
| (4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 | 111281-12-0 |
| N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸 | 85342-62-7 |
上述產品齊岳生物均可供應，用于科研！
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