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產地類別 | 進口 |
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AS-One系統有兩種型號: AS-One 100 系統或AS-One 150 系統
該快速退火爐是專門為滿足大學、研究實驗室和小規模生產的需求而研制的,高可靠且性價比高。
該工藝室采用貝殼式設計,可*進入底板,方便裝載和卸載基板,并允許實際清潔腔體
快速數字PID溫度控制器在整個溫度范圍內提供精確和可重復的熱控制。
特征: | |
基本尺寸: | Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors |
工藝腔體 | 運用不銹鋼冷腔室壁技術 |
溫度范圍 | 標準配置:高達到1250°C 高溫配置:高達到1450°C |
溫度控制 | 標準配置:熱電偶和高溫計用來測量溫度 快速數字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復的熱控制 |
真空和氣體 | 多可達5路帶MFC的工藝氣體,一路清潔氣體 |
電腦控制 | 全PC電腦控制,每個配方多100步驟 全數據記錄與處理歷史的人機界面設計 |
選項: | |
石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統/其他套件
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應用 |
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