Harrick高功率擴展型等離子清洗機是一款多功能的工具,適用于刻蝕有機薄膜(10--100nm)以及表面活化改性。
Harrick Plasma 高功率擴展型等離子清洗機
與擴展型一樣具有雙倍的清洗速率,高功率擴展型等離子清洗機是一款多功能的工具,適用于刻蝕有機薄膜(10--100nm)以及表面活化改性。
Harrick PDC-HP高功率擴展型等離子清洗機
PDC-001-HP (115V); PDC-002-HP (230V)
主要特點:
緊湊臺式設備、沒有RF放射、符合CE安全標準。
功率為低、中、高三檔可調。
低檔功率相當于PDC-2 擴展型等離子清洗機的高檔功率設置
清洗腔:長6.5英寸,直徑6英寸的耐熱玻璃腔體 , 腔蓋可拆卸
帶有視窗的鉸鏈門
自動風扇冷卻
集成真空泵開關
1/8NPT針孔閥控制氣流及腔體壓力;
整機尺寸:11英寸H × 18英寸W × 9英寸D;
重量:37 lbs;
選配件
石英等離子清洗腔;
氣體流量混合器;
真空泵;
參考客戶:
蘭州大學 鄭州大學 上海交通大學 上海復旦大學 合肥工業大學 成都電子科技大學 北京大學 清華大學醫工所 蘭州化物所 中科院納米所 等等
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