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【儀表】熱式流量計
創意無極限,儀表大發明。今天為大家介紹一項國家發明授權——熱式流量計。該于2016年8月24日獲得授權公告。
內容說明
本發明涉及在被測量流體中設置發熱電阻體對流量進行測定的熱式流量計,特別涉及適用于汽車的內燃機的吸入空氣量和排氣流量的測定的熱式流量計。
發明背景
作為為汽車內燃機的吸入空氣量進行測量的空氣流量計,能夠直接測定質量流量的熱式的空氣流量計是目前市場上的主流。
作為熱式的空氣流量計,具有在硅( Si )等半導體基板設置將半導體基板的一部分除去后的幾微米的薄膜部,在該薄膜部設置有形成有發熱電阻體和感溫電阻體的傳感器元件的半導體類型的熱式空氣流量計。這樣的半導體類型的熱式流量計設置在內燃機的吸氣管路,用于測定吸入空氣的流量等流體的量。
雖然在上游側設置有空氣過濾器以捕獲塵埃,但是在內燃機的吸氣管路中會流動混入有在空氣過濾器中不能夠捕獲的微小顆粒和從內燃機的燃燒室側擴散來的碳、油等異物的吸入空氣。因此,為了高精度地測定吸入空氣量,需要保護傳感器元件不受這樣的異物影響。
一直以來,作為用于保護傳感器元件不受流體中的異物影響的技術,具有文獻1或文獻2中記載的技術。文獻1中記載的技術是,通過在流量測定裝置或傳感器元件的上游側設置障礙物來防止塵埃的進入和對傳感器元件的碰撞。文獻2中記載的技術是,通過在副通路的內面設置槽或突起,利用該槽等捕獲水滴等液狀體來防止液狀體附著于傳感器元件。
發明內容
為解決上述問題,本發明提供一種適用于汽車的內燃機的吸入空氣量和排氣流量的測定的熱式流量計。
本發明在與裝載傳感器元件的一側的面相對的副通路內壁面,設置有用于使流體的流速加速而提高傳感器元件的檢測靈敏度的節流部。文獻1中記載的技術雖然通過在傳感器元件的上游側設置障礙物而避免塵埃與傳感器元件碰撞,但是根據節流部的形狀,本應該因障礙物而離開傳感器元件的塵埃會由于節流部而轉向至朝向傳感器元件的方向,飛向傳感器元件,與傳感器元件碰撞并附著在傳感器元件上。為了避免這種情況,需要形成和緩的節流部。但是,按這樣的形狀形成的話,節流部的形狀失去自由度,而且,因為在某種程度上需要將節流部的距離設計得較長,所以在小型化方面存在極限。進一步,從障礙物至傳感器元件的距離變長,由于障礙物而向從設置傳感器元件的設置面離開的方向回避的塵埃擴散,不能充分地得到設置障礙物的效果。特別是粒徑為幾微米的微小顆粒容易擴散,更不能得到上述效果。
本發明的目的在于提供減少傳感器元件的污損的熱式流量計。
為了達到上述目的,本發明的熱式流量計具有:傳感器元件,其在形成于基板的隔膜上設置有薄膜部,并具有形成于上述薄膜部的發熱電阻體;用于設置上述傳感器元件的支承部件;和副通路,在其中配置上述支承部件的一部分,將在吸氣管路流動的吸入氣體的一部分取入,該熱式流量計具有引導部件,在令沿在上述副通路內流動的空氣流從上述薄膜部上通過的直線為L時,該引導部件設置于上述L上的上述支承部件或上述傳感器元件,使沿上述支承部件或上述傳感器元件的表面與空氣流一起飛來的微小顆粒流向遠離上述L的方向。
本發明的有益效果在于,根據本發明,能夠提供減少傳感器元件的污損的熱式流量計。
來源:儀器交易網