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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
工業(yè)共聚焦顯微鏡采用了有著高N.A. 的物鏡和光學(xué)系統(tǒng)（能zui大限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精確地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測(cè)量。
作為表面粗糙度測(cè)量的新標(biāo)準(zhǔn)，奧林巴斯開發(fā)了LEXT OLS4100。對(duì)LEXT OLS4100 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x同樣的校正，并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣，對(duì)于使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x的用戶來(lái)說(shuō)，能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外，還搭載了粗糙度模式，可以用自動(dòng)拼接功能測(cè)量樣品表面直線距離zui長(zhǎng)為100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x相同的表面輪廓參數(shù)，因此具有相互兼容的操作性和測(cè)量結(jié)果。
| 截面曲線 | Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr |
|---|---|
| 粗糙度曲線 | Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75 |
| 波動(dòng)曲線 | Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr |
| 負(fù)荷曲線 | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
| 基本圖形 | R, Rx, AR, W, , AW, Wte |
| 粗糙度 (JIS1994) | Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp |
| 其他 | R3z, P3z, PeakCount |
適應(yīng)下一代參數(shù)
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度（3D）參數(shù)。通過(guò)評(píng)估平面區(qū)域，可以進(jìn)行高可靠性的分析。
| 振幅參數(shù) | Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa |
| 功能參數(shù) | Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp |
| 體積參數(shù) | Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc |
| 橫向參數(shù) | Sal, Str |
• LEXT OLS4100 與表面粗糙度測(cè)量?jī)x的結(jié)果相兼容。 
微細(xì)粗糙度
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x，無(wú)法測(cè)量比探針的針尖直徑更細(xì)微的表面輪廓。而OLS4100 有著微小的激光光斑直徑，所以能夠?qū)ξ⒓?xì)形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測(cè)量。
非接觸式測(cè)量
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量柔軟的樣品時(shí)，樣品容易受到探針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會(huì)粘在探針上，無(wú)法得到正確的測(cè)量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100，不會(huì)影響樣品的表面狀態(tài)，可以準(zhǔn)確的測(cè)量樣品
的表面粗糙度。
柔軟的樣品
帶有粘性的樣品
高分子薄膜3D 影像（上）和粗糙度測(cè)量結(jié)果（左）
| 工業(yè)共聚焦顯微鏡主機(jī) | |||
| LSM 部分 | 光源、檢出系統(tǒng) | 光源：405 nm 半導(dǎo)體激光 檢出系統(tǒng)：光電倍增管 | |
| 總倍率 | 108x ～ 17,280x | ||
| 變焦 | 光學(xué)變焦1x ～ 8x | ||
| 測(cè)量 | 平面測(cè)量 | 重復(fù)性 | 00x: 3σn-1=0.02 µm |
| 正確性 | 測(cè)量值的±2%以內(nèi) | ||
| 高度測(cè)量 | 方式 | 物鏡轉(zhuǎn)換器上下驅(qū)動(dòng)方式 | |
| 行程 | 10 mm | ||
| 內(nèi)置比例尺 | 0.8 nm | ||
| 移動(dòng)分辨率 | 10 nm | ||
| 顯示分辨率 | 1 nm | ||
| 重復(fù)性 | 50x: σn-1=0.012 μm | ||
| 正確性 | 0.2 ＋ L/100 μm 以下（L＝測(cè)量長(zhǎng)度μm） | ||
| 彩色觀察部分 | 光源、檢查系統(tǒng) | 光源：白色LED， 檢查系統(tǒng)：1/1.8 英寸200 萬(wàn)像素單片CCD | |
| 變焦 | 數(shù)碼變焦1x ～ 8x | ||
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 6 孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器 | ||
| 微分干涉單元 | 微分干涉滑片：U-DICR， 內(nèi)置偏振光片單元 | ||
| 物鏡 | 明視場(chǎng)平面半消色差透鏡5x、10x LEXT 平面復(fù)消色差透鏡20x、50x、100x | ||
| Z 對(duì)焦部分行程 | 100 mm | ||
| XY 載物臺(tái) | 100×100 mm（電動(dòng)載物臺(tái)）， 選件: 300×300 mm（電動(dòng)載物臺(tái)） | ||
為專為在工業(yè)環(huán)境下實(shí)施檢測(cè)設(shè)計(jì)的A 類設(shè)備。如在住宅區(qū)內(nèi)使用可能會(huì)干擾其他設(shè)備。
| 物鏡 | ||||
| 型號(hào) | 倍率 | 視場(chǎng) | 工作距離（WD） | 數(shù)值孔徑（N/A） |
| MPLFLN5X | 108x-864x | 2,560-320 μm | 20.0 mm | 0.15 |
| MPLFLN10X | 216x-1,728x | 1,280-160 μm | 11.0 mm | 0.30 |
| MPLAPON20XLEXT | 432x-3,456x | 640-80 μm | 1.0 mm | 0.60 |
| MPLAPON50XLEXT | 1,080x-8,640x | 256-32 μm | 0.35 mm | 0.95 |
| MPLAPON100XLEXT | 2,160x-17,280x | 128-16 μm | 0.35 mm | 0.95 |