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產品簡介
詳細介紹
OLS4100激光共焦掃描顯微鏡是一款激光掃描顯微鏡，通過非接觸的方式進行樣品表面三維形貌觀察和測量。zui高分辨率達10nm，可以方便快捷地獲取影像，同時配備豐富的測量功能。
- 的測量
- 工業領域** 的兩項性能保證
- 高畫質影像
- 直觀的GUI 實現系統化的工作流程
的測量
更大的樣品范圍
輕松檢測85° 尖銳角
有尖銳角的樣品（剃刀）
采用了有著高N.A. 的物鏡和光學系統（能zui大限度發揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精確地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測量。
| 主機 | |||
| LSM 部分 | 光源、檢出系統 | 光源：405 nm 半導體激光 檢出系統：光電倍增管 | |
| 總倍率 | 108x ～ 17,280x | ||
| 變焦 | 光學變焦1x ～ 8x | ||
| 測量 | 平面測量 | 重復性 | 00x: 3σn-1=0.02 µm |
| 正確性 | 測量值的±2%以內 | ||
| 高度測量 | 方式 | 物鏡轉換器上下驅動方式 | |
| 行程 | 10 mm | ||
| 內置比例尺 | 0.8 nm | ||
| 移動分辨率 | 10 nm | ||
| 顯示分辨率 | 1 nm | ||
| 重復性 | 50x: σn-1=0.012 μm | ||
| 正確性 | 0.2 ＋ L/100 μm 以下（L＝測量長度μm） | ||
| 彩色觀察部分 | 光源、檢查系統 | 光源：白色LED， 檢查系統：1/1.8 英寸200 萬像素單片CCD | |
| 變焦 | 數碼變焦1x ～ 8x | ||
| 物鏡轉換器 | 6 孔電動物鏡轉換器 | ||
| 微分干涉單元 | 微分干涉滑片：U-DICR， 內置偏振光片單元 | ||
| 物鏡 | 明視場平面半消色差透鏡5x、10x LEXT 平面復消色差透鏡20x、50x、100x | ||
| Z 對焦部分行程 | 100 mm | ||
| XY 載物臺 | 100×100 mm（電動載物臺）， 選件: 300×300 mm（電動載物臺） | ||
此設備為專為在工業環境下實施檢測設計的A 類設備。如在住宅區內使用可能會干擾其他設備。
| 物鏡 | ||||
| 型號 | 倍率 | 視場 | 工作距離（WD） | 數值孔徑（N/A） |
| MPLFLN5X | 108x-864x | 2,560-320 μm | 20.0 mm | 0.15 |
| MPLFLN10X | 216x-1,728x | 1,280-160 μm | 11.0 mm | 0.30 |
| MPLAPON20XLEXT | 432x-3,456x | 640-80 μm | 1.0 mm | 0.60 |
| MPLAPON50XLEXT | 1,080x-8,640x | 256-32 μm | 0.35 mm | 0.95 |
| MPLAPON100XLEXT | 2,160x-17,280x | 128-16 μm | 0.35 mm | 0.95 |