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X & Y馬達平臺工作范圍 | 150毫米(其他尺寸可按要求定做) |
Z軸范圍 | 20毫米(內置手動千分尺調節工作距離，馬達自動調節選配) |
zui大數據采集速度 | zui大30,000數據點/秒 |
zui大X,Y軸向速度 | 20毫米/秒 |
測量范圍 | 工作距離(mm) | 軸向分辨率，精度(nm) | 斑點直徑(µm) | 橫向分辨率(µm) | zui大傾斜角度＊＊ | zui小測量厚度(µm) |
20µm | 0.37 | 2, 10 | 3 | 1.5 | 48° | 12 |
130µm | 3.3 | 5, 20＊ | 2＊ | 1.1＊ | 43° | 7＊ |
300µm | 5.68 | 10, 90 | 7.4 | 3.7 | 25° | 25 |
350µm | 12.7 | 10, 60 | 7 | 3.5 | 27° | 25 |
400µm | 11 | 12, 60 | 2.6＊ | 1.3＊ | 28° | 15＊ |
1mm | 23.9 | 30, 300 | 14 6 | 6 | 24° | 23 |
1.2mm | 12.7 | 25, 200 | 4 | 2 | 27° | 25 |
3mm | 26.9 | 100, 600 | 25 | 12.5 | 12° | 220 |
3.5mm | 16.4 | 75, 400 | 8 | 4 | 22° | 60 |
10mm | 66.9 | 300, 900 | 51 | 25.5 | 12° | 425 |
12mm | 29 | 280, 900 | 16 | 8 | 14° | 200 |
24mm | 222.3 | 1500, 3000 | 100 | 50 | 5° | 1570 |
27mm | 19.6 | 600, 3000＊ | 16 | 8 | 8.6° | 590 |
2 - 100µm (干涉測量法) | 42 | 10, 100 | 20 | 10 | 7 | 2 |
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