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Lake Shore的CRX-VF是一款無液氦閉循環(huán)制冷的探針臺，它增加了±2.5T的超導(dǎo)磁體，可以進(jìn)行C-V、I-V、微波和電光探測，以及平面外垂直場超導(dǎo)磁測量。研究人員可以使用CRX-VF進(jìn)行霍爾效應(yīng)測量和測試磁輸運(yùn)參數(shù)。CRX-VF可在直徑達(dá)51毫米（2英寸）的晶圓上實(shí)現(xiàn)真正的90°晶圓探測。樣品可在冷卻過程中保持較高溫度，降低了樣品冷凝的可能性，這是測量有機(jī)材料的關(guān)鍵要求。
CRX-VF可在10 K至500 K的溫度范圍內(nèi)工作，它使用獨(dú)立的閉循環(huán)制冷機(jī)，開機(jī)后可在無人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。該系統(tǒng)為尋求兼顧無液氦操作的便利性和Lake Shore產(chǎn)品可靠的測量性能的用戶提供了完整的解決方案。
主要特征：
√ 溫度范圍10 K~500 K
√ 垂直磁場±2.5 T，可定制3T以上磁場
√ 最大2英寸（51 mm）樣品
√ 90°探針樣品測量
√ 霍爾效應(yīng)測試選件
√ 超高真空選件
√ 可定制真空腔聯(lián)用轉(zhuǎn)移樣品，避免樣品暴露在大氣環(huán)境
設(shè)備參數(shù)：
| 磁場 | ||
| 磁體類型 | 超導(dǎo)螺線管 | |
| 磁場方向 | 垂直方向（垂直于樣品面） | |
| 磁場控制 | 電流控制 | |
| 磁場大小 | 最大±25 KOe(±2.5 T) | |
| 磁場均勻性 | 0.5% 10 mm直徑；1% 25 mm直徑 | |
| 探針針尖移動 | <5 μm 整個磁場范圍內(nèi) | |
| 溫度范圍 | ||
| ±2.5 T | 溫度10 K | |
| ±2 T | 溫度范圍11 K ~ 400 K | |
| ±1 T | 溫度范圍401 K ~ 500 K | |
| 以上溫度范圍在最大安裝6個探針臂情況下有效 | ||
| 溫度穩(wěn)定性 | ||
| 基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制) | 未說明 | |
| <10 K | ±50 mK | |
| 10 K ~ 500 K | ±10 mK | |
| 真空 | 以TPS-FRG分子泵為標(biāo)準(zhǔn) | PS-HV-CPX高真空選件 |
| 抽真空時間 | 90 min (<1 × 10-3 Torr) | 30 min (<1 × 10-3 Torr) |
| 室溫下 | <5 × 10-4 Torr | <5 × 10-6 Torr |
| 基礎(chǔ)溫度下 | <1 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 最高溫度下 | <5 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 循環(huán)時間 | ||
| 總循環(huán) | 8.5 h | |
| 抽真空 | 1.5 h | |
| 探針臺冷卻 | 5 h | |
| 探針臺升溫 | 2 h | |
| 樣品 | ||
| 最大尺寸 | 51 mm(2英寸) | |
| 樣品背光接口 | 不可選 | |
| 樣品旋轉(zhuǎn) | 不可選 | |
| 樣品振動 | ＜1 μm | |
| 探針配置 | ||
| 最大探針數(shù) | 6 | |
| 探針臂溫度計 | 用于監(jiān)視探針臂的溫度 | |
| 冷卻探針支架 | ＜50 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下) | |
| 探針支架 | 連接防輻射屏熱沉 | |
| 探針臂支架 | 連接防輻射屏熱沉 | |
| DC/RF探針 | 電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量 | |
| 微波探針 | 頻率范圍從DC到67GHz | |
| 光纖探針 | 可用于電光測量 | |
| 落針范圍 | 所有探針均可在直徑為 25.4 毫米（1 英寸）的圓內(nèi)落針 | |
