除了我們眾多的標準低溫探針臺產品線外,Lake Shore還可以與您合作設計定制探針臺,以滿足您的特定實驗要求。有關定制產品的一些示例,請參見下文。
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設備型號:
無液氦超導磁體探針臺 | 定制液氦/液氮冷卻探針臺 |
√ 3T或5T垂直磁場 √ 2 K至420 K(最大磁場降低至室溫以上) √ 用于零場測量的可選6.5英寸直徑樣品座 √ 樣品階段的振動小于1µm | √ 最多8個樣品 √ 高達3 kV電壓測試 √ ~3.5 K至475 K(675 K可選) √ 樣品臺處25 nm振動 |
室溫真空探針臺 | 微型可運送樣品真空腔室 |
√ 300 K至500 K(675 K可選) √ 直徑2英寸的樣品座,帶標準探針臂和視覺選件 | Lake Shore還提供了一個微型、可運送樣品的真空室,能夠在通過大氣環境運輸的過程中保持樣品處于真空狀態。真空室可用于在真空下將晶圓片/襯底從具有特殊環境的手套箱轉移到真空或低溫微操作探針臺(或轉移到真空室),并在測試、測量或準備后返回手套箱。這種可運輸的真空室在裝載和卸載時保護晶片/基板免受大氣污染。
與普通的真空Load Lock不同,該真空室具有以下特點和優點: √ 典型尺寸為直徑50 mm、厚度25 mm寸 √ 無需閘板閥 √ 操作非常方便 √ 低成本 √ 在不增加低溫探針臺基礎溫度的情況下安裝可運送樣品支架 |