| 產 品 說 明 |
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MF-U
176 系列 — 高倍率多功能測量顯微鏡
偏光觀察：
觀察過濾后只有一個方向振動的光。用于觀察具有特
殊光學特性的材料，如礦石和液晶。
微分干涉對比觀察：
在檢測金屬、液晶和半導體表面的微小劃痕和臺階時
十很有效。
暗視場觀察：
擋住直射到物體上的光，只觀察散射光，通過高對比
度能觀察到在亮視場看不到的劃痕和粉末。
亮視場觀察：
zui普通的觀察方式，直接觀察從工件表面反射的光。
特點
? 亮視場、大視野觀察可得到清晰、無閃
爍的正像。
? 使用長工作距離的目鏡，放大倍率可達
20X (總倍率：4000X)。
? 和高級檢測顯微鏡一樣采用校正光學系
統(FS 系列)。
? 亮／暗視場觀察，偏光觀察和微
分頭干涉對比 (DIC) 觀察。
? 使用立柱兩側的微調／粗調旋鈕
進行調焦和測量。
? 調零開關 (X 軸和 Y 軸) 也位于操作臺手柄
的附近。
? 帶有鏡頭旋轉盤。
? 增強型目鏡可有效緩解眼睛疲勞。
技術參數
觀察圖像 : 正像
光管 : Siedentoph 型 (可調瞳距：51 -
76mm), 1X 光管鏡頭、
雙目目鏡 ( 俯角：30o),
十字投影法、帶有TV 插板、
光通比、(目鏡 /TV 插板：50/50)
目鏡 : 10X (視場直徑：24mm),
可選 : 15X, 20X
轉盤 (選件): 手動或電動旋轉盤
物鏡 (選件): 從 1X - 100X 的 M/BD Plan Apo 物鏡
(詳見 384 頁)
輪廓照明
? 光源 : 鹵素燈泡 (12V, 50W)
? 光學系統 : 帶有可調整光圈的遠心照明系統
? 功能 : 光強度可調、無級亮度調整
表面照明
? 光源 : 鹵素燈泡照明選件(光纖冷光照明)
? 光學系統 : 帶有可調整光圈的科勒照明系統
? 功能 : 光強度可調、無級亮度調整
顯示裝置 :
? 軸數 : 2 軸或 3 軸
? 分辨率 : 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/
.0001" / .00005" / .00001"
? 功能 : 調零、方向轉換、
數據輸出 (通過 RS-232C 接口)
電源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量 65.5kg (505B, 1010B),
69.5kg (2010B),
130kg (2017B),
138kg (3017B),
144kg (4020B)
505B: 50 x 50mm
XY 工作臺選擇(行程范圍)
1010B: 100 x 100mm
2010B: 200 x 100mm
2017B: 200 x 170mm
4020B: 400 x 200mm
MF-UB3017B
XY 工作臺移動范圍：300 x 170mm
(帶有可選旋轉盤、目鏡和光纖照明)369
選件
378-857: 15X 目鏡套裝 (視場范圍：16mm)
378-858: 20X 目鏡套裝 (視場范圍：12mm)
––––––: 物鏡 (詳見 384 頁)
378-018: 手動 BF 旋轉盤
378-116: 電動 BF 旋轉盤
176-211: 手動 BF/DF 旋轉盤
378-210: 電動 BF/DF 旋轉盤
––––––: 分劃板 (詳見 366 頁)
178-092: 偏振器
378-076: 用于 100X, SL80X, SL50X 目鏡的微分干涉
對比裝置
378-078: 用于50X, SL20X 目鏡的微分干涉對比裝置
378-079: 用于 20X 目鏡的微分干涉對比裝置
378-080: 用于 10X, 5X 目鏡的微分干涉對比裝置
12AAA643: ND2 型彩色濾光片
12AAA644: ND8 型彩色濾光片
12AAA645: GIF 型濾光片
12AAA646: LB80 型彩色濾光片
375-054: 0.5X 相機轉向鏡 (帶有 C-mount 適配器)
970441: C-mount 適配器
513667: 鹵素燈泡 (24V, 50W)
12BAB345: 鹵素燈泡 (長壽型、24V, 50W)
517181: 鹵素燈泡 (24V, 100W)
12BAD602: 鹵素燈泡 (高亮度型、24V, 100W)
176-308: 防振臺架
176-309: 安裝臺架
375-056: 讀數尺
12AAA165: 鏡頭清洗工具
12AAA846: 腳踏開關
照明元件 (詳見 373 頁)
176-315: 鹵素照明裝置 (12V, 100W)
176-316: 鹵素照明裝置 (12V, 150W)
176-343: 雙光纖照明裝置
12AAG806: GIF 型彩色濾光片 (用于 176-315)
12AAG807: LB80 型彩色濾光片 (用于 176-315)
固定和工作臺附件 (詳見 363 頁)
176-107: 帶有夾鉗的支架 *
172-378: 帶有夾鉗的 V 型塊 *
(zui大工件直徑：25mm)
172-197: 用于 TM-510 的旋轉式中心架 *
(zui大工件直徑：80mm)
176-305: 帶有微調旋鈕的旋轉工作臺，適用于
505B/1010B/1020B 型號
176-306: 帶有微調旋鈕的旋轉工作臺，適用于
1720B/1730B 型號
*1020B 型號需要與固定適配器(176-310) 配合使用
1720B/1730B 型號需要與固定適配器(176-304) 配合使用
QM-Data200
2D 數據處理器
(詳見374 頁)
12AAA807: 連接電纜套裝
Focus pilot FP-05
輔助聚焦系統
(詳見372 頁)
Vision Unit
基于PC 的視像測量系統
(詳見376 頁)
設備選型
單位：mm
尺寸
性能參數
型號 (XY 工作臺尺寸) 505B 1010B 2010B 2017B 3017B 4020B
貨號 MF-UA 176-567* 176-568* 176-569* 176-570* 176-571* 176-572*
MF-UB 176-587* 176-588* 176-589* 176-590* 176-591* 176-592*
MF-UC 176-573* 176-574* 176-575* 176-576* 176-577* 176-578*
MF-UD 176-593* 176-594* 176-595* 176-596* 176-597* 176-598*
XY 工作臺移動范圍 50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 軸移動范圍 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
調焦方式 手動調焦 (粗調焦：10mm/rev、微調焦：0.1mm/rev)
測量方法 線性編碼器 (2 軸型：X / Y 軸、3 軸型：X / Y / Z 軸)
分辨率 (可轉換) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
測量精度 (20oC 時) XY 軸：(2.5+0.02L)μm, L 無負載測量長度 (mm), JIS B 7153
指示精度 (20oC 時) Z 軸：(5+0.04L)μm, L 為測量長度 (mm)
浮動功能 帶有快速斷開功能的 X 和 Y 軸
XY 工作臺臺面尺寸 280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
載物玻璃有效尺寸 180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋轉功能 — — — ±5o (左) ±5o (左) ±3o (左)
zui大工件重量 10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
zui大工件高度 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 為區分交流電源電壓，在貨號后加上以下后綴(如：176-567A):
A 適于UL/CSA, D 適于 CEE, E 適于 BS, DC 適于中國、K 適于 EK，無后綴適于JIS/100V
設備型號 MF-UA 型 MF-UB 型 MF-UC 型 MF-UD 型
觀察類型 亮視場 (BF) 亮視場 (BF) 亮／暗視場 (BF/DF) 亮／暗視場 (BF/DF)
測量系統 X 和 Y 軸 (2 軸) X, Y 和 Z 軸 (3 軸) X 和 Y 軸 (2 軸) X, Y 和 Z 軸 (3 軸) |
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銷售分布在北京 天津 石家莊 秦皇島 太原 呼和浩特 沈陽 大連 丹東 長春 哈爾濱 上海 南京 連云港 杭州 合肥 福州 廈門 南昌 濟南 青島 鄭州\ 武漢 長沙 廣州 深圳 南寧 成都 重慶 貴陽 昆明 拉薩 西安 蘭州 西寧 滿洲里 銀川 烏魯木齊 寧波 桂林 海口 廣東 廣西、浙江 福建 江蘇 安徽 江西 湖北 湖南 云南 貴州 四川 青海 陜西、甘肅 寧夏 河南 河北 山東 山西 遼寧 吉林 黑龍江 內蒙古 新疆 西藏 海南等地
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