產品編號： 4239494016
產品名稱： 半導體/FPD檢查顯微鏡 MX61
規　　格： MX61
產品備注： 產地：日本
產品類別： 光學測量儀器


江西南昌半導體/FPD檢查顯微鏡產 品 說 明
能夠應對從明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時亮度光圈連動能進行自動調節。這些功能實現了快速舒適的檢查環境。

UIS2物鏡形成的鮮明的觀察影像
考慮了檢查效率的設計
支持缺陷檢測的多種功能
幫助實現多種觀察的附件

UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來的高品質，忠實于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數碼影像觀察中都能發揮它的性能。

zui大程度校正了色差的平面復消色差物鏡。是世界上*以95%以上的彌散比例保證了光學性能（波像差）的通用型號物鏡。對應微分干涉觀察、簡易偏振光觀察和AF單元（奧林巴斯U-AFA2MA產品）。

有著高水準的色差校正的半復消色差透鏡設計的通用物鏡。不僅在明視場觀察中，在熒光、微分干涉和簡易偏振光觀察中都能發揮性能。明暗視場觀察請使用BD系列產品。

特別在偏振光、微分干涉觀察中能發揮性能的通用物鏡。

在對比度的決定上起重要作用的亮度光圈（AS）的開閉調節，與物鏡的切換和觀察模式連動，用一個按鈕就可以操作。此外，用一個手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和亮度光圈（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知，能夠防止錯誤操作。

為了適應視點而調整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。

MX61能與自動晶圓搬送機組合，組合后的尺寸也被設計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執行從內面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存可以在手中快速完成。

電動物鏡轉換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。

每次變換物鏡時都需要調節亮度光圈（AS）的話，會影響檢查速度。MX61對每個物鏡都可以設置觀察方法和AS（14級），僅切換物鏡就能以zui合適的對比度進行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調節AS，提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。

對應200 mm晶圓的MX-SIC8R采用了內置離合器的載物臺夾子，可切換粗調和細調。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺，從而提高了檢查速度。

根據的DUV光學設計，實現了減少光暈、圖像分辨極限達80nm的高對比度影像。可以在低倍率可見光線到DUV環境下進行連續觀察。

由可見光線領域到近紅外線領域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，對應近紅外線的裝置備有各種型號。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發揮威力。

對應光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實現了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號和高NA（數值孔徑）的B型號兩種型號。

三目鏡筒可以安裝數碼照相機。可以保存和記錄數碼影像，幫助創建觀察報告。可依據用途從圖像質量、功能、使用方便性等方面選擇數碼照相機。

江西南昌
機身 觀察方法 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
反射/透射 反射/透射
照明裝置 機身一體型（明視場，暗視場＋1選件）
照明系統 反射照明 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明 纖維光導
對焦單元 電動/手動 手動
行程 32 mm
分辨率/微調靈敏度 微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm
zui大樣本高度 30 mm
物鏡轉換器 電動型 明視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉5孔
明暗視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉中心輸出5孔
手動式 -
載物臺 行程 8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范圍189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm
觀察筒 廣角視場（視場數22） 倒置 雙目/三目觀察筒
正像 三目觀察筒
超寬視場（視場數26.5） 倒置 三目觀察筒
正像 傾斜三目觀察筒
附件單元 DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載
外形尺寸 509（W）×843（D）×507（H）mm（標準組合）
重量 40 kg（標準組合