目錄:中美合資合肥科晶材料技術有限公司>>CVD、PECVD設備>> OTF-1100X11Z3LV CVD
我公司供應的產品符合國家有關環保法律法規的規定（含采購商ISO14000環境體系要求），不會造成環境污染；
該產品符合采購商OHSMS18000職業安全健康管理體系標準的要求，不會對接觸產品的人員健康造成損害！
主要特點： 采用電阻絲加熱；30段程序控溫；3個獨立溫區，可通氣氛抽真空
設備的控制系統，具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高（專家PID控制）、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、可通氣氛抽真空等特點。
技術參數：
功率： 8 Kw
電源：AC220V , 50/60 Hz （使用時需配 50A空氣開關）
加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金
zui高溫度： 1100 oC
長期使用溫度： 1000 oC
zui快升溫速率： ≤ 10 oC /min
爐管尺寸及材質： 石英管；外徑279 x內徑269 x長度1524mm
加熱區長度：三個溫區分別是300 mm + 300 mm + 300mm
溫區總長： 900 mm
恒溫區長度： 500 mm （ 在恒溫區內溫度誤差 ± 1oC）
溫度控制器：
三塊30段高精度溫度控制器，可分別單獨控制每個溫區
自動PID調節功能，可使溫度控制精度保持在± 1oC
設有自動超溫及斷偶報警功能。
請點擊此處下載 使用操作說明書
熱電偶類型： 3只K型熱電偶分別安裝于每個溫區
真空密封法蘭：
可直接連接PV軟管
采用雙硅膠O型圈密封可耐溫 300oC
配有氧化鋁絕熱堵頭有效的阻止熱輻射起到保護法蘭的目的
真空系統：
采用雙旋葉機械泵于分子泵相結合，zui高真空度可達 10-3.帕
1臺分子泵
配有一只電阻規于電離規作為檢測元件
波紋管連接
可選配數字真空計（美國進口）
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