目錄:中美合資合肥科晶材料技術有限公司>>CVD、PECVD設備>> 1200°C二通道混氣高真空CVD系統-OTF-1200X-HVC
OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區管式爐,二路質子混氣系統和高真空機組組成。其zui高工作溫度可達1200℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr?;鞖庀到y可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內部。
技術參數
OTF-1200X系列 管式爐 | 殼體結構 |
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爐管 |
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功率 | 2.5KW | |
工作電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60Hz | |
加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(電阻絲表面涂有氧化鋯涂層,zui大程度的延長加熱元件的使用壽命) | |
工作溫度 |
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加熱速率 | 加熱速率: 1~20°C/min 可編程 | |
加熱區長度 |
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控溫系統 |
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真空密封 |
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功率 | 100~110W | |
工作電壓 | AC 208-240V , 50/60Hz | |
高真空機組 | 殼體 |
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抽氣速率 |
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工作范圍 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | |
極限 | <1E-8 mbar (無泄漏) | |
質量流量控制器 | 殼體 |
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功率 | 18W | |
工作電源 | AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz | |
質保期 | 一年質保期,相關耗材除外,如爐管密封圈加熱元件等易耗件 | |
質量認證 | CE Certificate |