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目錄:中美合資合肥科晶材料技術有限公司>>CVD、PECVD設備>> 1200℃單溫區三通道混氣CVD系統-OTF-1200X-80-I-F3LV

1200℃單溫區三通道混氣CVD系統-OTF-1200X-80-I-F3LV
  • 1200℃單溫區三通道混氣CVD系統-OTF-1200X-80-I-F3LV
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具體成交價以合同協議為準
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  • 型號
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 合肥市
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更新時間:2024-10-22 08:37:14瀏覽次數:2483評價

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OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統為三路浮子供氣系統,其真空度可達到 10-2 torr.

  OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統為三路浮子供氣系統,其真空度可達到 10-2 torr.

技術參數

高溫爐殼體

  • 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統,使得殼體表面溫度小于55
  • 內爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度

功率

2.5 KW

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其zui大程度延長使用壽命)

zui高工作溫度

1200

連續工作溫度

1100

zui快升溫速率

<= 20 

爐管材質和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

加熱區長度

400 mm

恒溫區長度

150  (+/-1 )

控溫系統

  • PID30段程序化控溫  
  • 控溫儀表操作視頻

控溫精度

+/- 1 

 

真空密封系統

 

 

 

(點擊圖片查看詳細資料)

兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥),zui大漏氣率6 mtorr/min

真空泵

采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環境和人體健康,過濾的zui小微粒直徑為0.3微米。

數字式真空顯示計

 

  • 美國進口CVM-211數顯真空計,已安裝在不銹鋼法蘭上,測量范圍為10-4Torr~1000Torr
  • 可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。

混氣系統

  • 三個浮子流量計(準確率4%FS)
  • 三路浮子量程分別為
  • 10-100 cc/min.
  • 16-160 cc/min.
  • 25-250 cc/min
  • 內部安裝有一混氣罐 

尺寸

  • 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm
  • 混氣系統尺寸: 600x600x597 mm

凈重

60kg

運輸重量

200

質保期

一年質保期(不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件)

 CE Certificate  

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