SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX/39529829/39529839：單榮兵
SUNX傳感器是用標準的硅基半導體集成電路的工藝技術制造的。  傳感器（圖3）
通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同芯片上。 　　薄膜傳感器則是通過沉積在介質襯底（基板）上的，相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時，同樣可將部分電路制造在此基板上。 　　厚膜傳感器是利用相應材料的漿料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是Al2O3制成的，然后進行熱處理，使厚膜成形。 　　陶瓷傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝（溶膠、凝膠等）。 　　完成適當的預備性操作之后，已成形的元件在高溫中進行燒結。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性，在某些方面，可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的種變型。 　　每種工藝技術都有自己的優點和不足。由于研究、開發和所需的資本投入較低，以及傳感器參數的高穩定性等原因，采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
按測量目分類
物理型傳感器是利用被測量物質的某些物理性質發生明顯變化的特性制成的。 　　化學型傳感器是利用能把化學物質的成分、濃度等化學量轉化成電學量的敏感元件制成的。 　　生物型傳感器是利用各種生物或生物物質的特性做成的，用以檢測與識別生物體內化學成分的傳感器。SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX/39529829/39529839：單榮兵
傳感器又有作用型和反作用型，此種傳感器對被測對象能發出定探測信號，能檢測探測信號在被測對象中所產生的變化，或者由探測信號在被測對象中產生某種效應而形成信號。檢測探測信號變化方式的稱為作用型，檢測產生響應而形成信號方式的稱為反作用型。雷達與無線電頻率范圍探測器是作用型實例，而光聲效應分析裝置與激光分析器是反作用型實例。 　　被動型傳感器只是接收被測對象本身產生的信號，如紅外輻射溫度計、紅外攝像裝置等。編輯本段主要特性傳感器靜態特性
　　傳感器的靜態特性是指對靜態的輸入信號，  傳感器（圖4）
傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關系。因為這時輸入量和輸出量都和時間無關，所以它們之間的關系，即傳感器的靜態特性可用個不含時間變量的代數方程，或以輸入量作橫坐標，把與其對應的輸出量作縱坐標而畫出的特性曲線來描述。表征傳感器靜態特性的主要參數有：線性度、靈敏度、遲滯、重復性、漂移等。 　　1、線性度：指傳感器輸出量與輸入量之間的實際關系曲線偏離擬合直線的程度。定義為在全量程范圍內實際特性曲線與擬合直線之間的zui大偏差值與滿量程輸出值之比。 　　2、靈敏度：靈敏度是傳感器靜態特性的個重要指標。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應輸入量增量之比。用S表示靈敏度。 　　SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX/39529829/39529839：單榮兵
3、遲滯：傳感器在輸入量由小到大（正行程）及輸入量由大到小（反行程）變化期間其輸入輸出特性曲線不重合的現象成為遲滯。對于同大小的輸入信號，傳感器的正反行程輸出信號大小不相等，這個差值稱為遲滯差值。 　　4、重復性：重復性是指傳感器在輸入量按同方向作全量程連續多次變化時，所得特性曲線不致的程度。 　　5、漂移：傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下，傳感器輸出量隨著時間變化，此現象稱為漂移。產生漂移的原因有兩個方面：是傳感器自身結構參數；二是周圍環境（如溫度、濕度等）。 　　6、分辨力：當傳感器的輸入從非零值緩慢增加時，在超過某增量后輸出發生可觀測的變化，這個輸入增量稱傳感器的分辨力，即zui小輸入增量。
傳感器的實際靜態特性輸出是條曲線而非直線。在實際工作中，為使儀表具有均勻刻度的讀數，常用條擬合直線近似地代表實際的特性曲線、線性度（非線性誤差）就是這個近似程度的個指標。 　　擬合直線的選取有多種方法。如將零輸入和滿量程輸出點相連的理論直線作為擬合直線；或將與特性曲線上各點偏差的平方和為zui小的理論直線作為擬合直線，此擬合直線稱為zui小二乘法擬合直線。
傳感器的靈敏度/39529829/39529839：單榮兵
　　靈敏度是指傳感器在穩態工作情況  傳感器（圖5）
下輸出量變化△y對輸入量變化△x的比值。 　　它是輸出輸入特性曲線的斜率。如果傳感器的輸出和輸入之間顯線性關系，則靈敏度S是個常數。否則，它將隨輸入量的變化而變化。 　　靈敏度的量綱是輸出、輸入量的量綱之比。例如，某位移傳感器，在位移變化1mm時，輸出電壓變化為200mV，則其靈敏度應表示為200mV/mm。 　　當傳感器的輸出、輸入量的量綱相同時，靈敏度可理解為放大倍數。 　　提高靈敏度，可得到較高的測量精度。但靈敏度愈高，測量范圍愈窄，穩定性也往往愈差。
傳感器的分辨率
　　分辨率是指傳感器可感受到的被測量的zui小變化的能力。也就是說，如果輸入量從某非零值緩慢地變化。當輸入變化值未超過某數值時，傳感器的輸出不會發生變化，即傳感器對此輸入量的變化是分辨不出來的。只有當輸入量的變化超過分辨率時，其輸出才會發生變化。 　　通常傳感器在滿量程范圍內各點的分辨率并不相同，因此常用滿量程中能使輸出量產生階躍變化的輸入量中的zui大變化值作為衡量分辨率的指標。上述指標若用滿量程的百分比表示，則稱為分辨率。分辨率與傳感器的穩定性有負相相關性。/39529829/39529839：單榮兵