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遷移率少子壽命測試儀

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公司成立于2021年,是一家注冊在蘇州、具備技術的非接觸式半導體檢測分析設備制造商。公司集研發(fā)、設計、制造、銷售于一體,主要攻克國外壟斷技術,替代進口產品,使半導體材料測試設備國產化。

主要產品:非接觸式無損方塊電阻測試儀、晶圓方阻測試儀、方阻測試儀、硅片電阻率測試儀、渦流法高低電阻率分析儀、晶錠電阻率分析儀、渦流法電阻率探頭和PN探頭測試儀、遷移率(霍爾)測試儀、少子壽命測試儀,晶圓、硅片厚度測試儀、表面光電壓儀JPV\SPV、汞CV、ECV。碳化硅、硅片、氮化鎵、襯底和外延廠商提供測試和解決方案

憑借*的技術和豐富的產品設計經驗申請各項知識產權20余項,已發(fā)展成為中國大陸少數具有一定國際競爭力的半導體專用設備提供商,產品得到眾多國內外主流半導體廠商的認可,并取得良好的市場口碑。





晶圓電阻率測試儀,硅片電阻率測試儀,渦流法低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,遷移率測試儀,少子壽命測試儀

測試范圍廣:包括硅塊、硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅片等的少子壽命及鍺單晶的少子壽命測量。
■主要應用于硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅塊、硅片的進廠、出廠檢查,生產工藝過程中重金屬沾污和缺陷的監(jiān)控等。
■適用于低阻硅料少子壽命的測量,電阻率測量范圍可達ρ>0.1Ω?cm(可擴展至0.01Ω?cm),完了微波光電導無法檢測低阻單晶硅的問題。
■全程監(jiān)控動態(tài)測試過程,避免了微波光電導(u-PCD)無法觀測晶體硅陷阱效應,表面復合效應缺陷的問題。
■貫穿深度大,達500微米,相比微波光電導的30微米的貫穿深度,真正體現(xiàn)了少子的體壽命的測量,避免了表面復合效應的干擾。
■專業(yè)定制樣品架地滿足了原生多晶硅料生產企業(yè)測試多種形狀的硅材料少子壽命的要求,包括硅芯、檢磷棒、檢硼棒等。
■性價比高,價格遠低于國外國外少子壽命測試儀產品,極大程度地降低了企業(yè)的測試成本。





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