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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>其它半導體行業儀器設備>少子壽命測試儀> 硅片方阻電阻率

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硅片方阻電阻率

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公司成立于2021年,是一家注冊在蘇州、具備技術的非接觸式半導體檢測分析設備制造商。公司集研發、設計、制造、銷售于一體,主要攻克國外壟斷技術,替代進口產品,使半導體材料測試設備國產化。

主要產品:非接觸式無損方塊電阻測試儀、晶圓方阻測試儀、方阻測試儀、硅片電阻率測試儀、渦流法高低電阻率分析儀、晶錠電阻率分析儀、渦流法電阻率探頭和PN探頭測試儀、遷移率(霍爾)測試儀、少子壽命測試儀,晶圓、硅片厚度測試儀、表面光電壓儀JPV\SPV、汞CV、ECV。碳化硅、硅片、氮化鎵、襯底和外延廠商提供測試和解決方案

憑借*的技術和豐富的產品設計經驗申請各項知識產權20余項,已發展成為中國大陸少數具有一定國際競爭力的半導體專用設備提供商,產品得到眾多國內外主流半導體廠商的認可,并取得良好的市場口碑。





晶圓電阻率測試儀,硅片電阻率測試儀,渦流法低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,遷移率測試儀,少子壽命測試儀

專注于非接觸式半導體計量分析技術的開發和生產 ,攻克被國外卡脖子技術。

       產品廣泛應用于半導體、光伏、科研以及平板材料測試領域。借助公司*計量分析測試技術,為晶圓、碳化硅、硅片、封裝測試等生產和品質監控,提供一整套完整測試和解決方案。

晶圓電阻率測試儀,硅片電阻率測試儀,渦流法低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,遷移率(霍爾)測試儀,少子壽命測試儀,

一、

晶圓電阻率測試儀

硅片方阻測試儀

渦流法低電阻率分析儀

晶錠電阻率分析儀

非接觸少子壽命

參數

方阻

電阻率(厚度180um)

方法

探頭量程

1-600Ω/¨

0.018-10.8 Ω?cm

渦流法

探頭性能

動態重復性

靜態重復性

示值誤差

1-80Ω/¨0.018 - 1.44Ω?cm < 0.2%

<0.01%

±1%

80-120Ω/¨1.44 - 2.16Ω?cm < 0.3%

120-300Ω/¨2.16 - 5.4Ω?cm < 0.5%

300-600Ω/¨5.4 - 10.8Ω?cm< 1%

外形尺寸

上探頭Ф20*145mm

下探頭Ф20*50mm

信號采集

采樣率:1500Sps

采樣個數:512點/單次

采樣緩存:8級數據記錄緩存

數據傳輸:RS232 RS485CANTCP/IP

傳輸協議:Modbus Rtu/ Modbus Tcp 用戶自定義協議等

供電電源

24V/1A





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