產地類別 | 進口 | 功率 | 1200W |
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價格區間 | 面議 | 控制方式 | 全自動控制(自動/手動切換) |
氣路 | 1-10 | 樣品腔材質 | 鋁合金 |
樣品腔尺寸 | 250x250x250cm | 樣品腔容積 | 16LL |
應用領域 | 化工,石油,電子 |
低溫等離子處理設備特點:
· Diener 等離子去膠機 Tetra16便捷的觸摸屏操作界面
· 專用軟件支持自動/手動操作模式可切換(自動模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權限分級設定
· 數字及圖形化工藝參數控制及實時顯示
· 支持6"/8"/12" wafer的去膠清洗
· 安全及異常報警功能
· Diener 等離子去膠機 Tetra16多語言:法語、英語,德語,中文
低溫等離子處理設備用途:
· 去除光刻膠
· 干刻或濕刻處理前或后
· SU-8或其他環氧基樹脂
· MEMS制造中去除犧牲層
·去除光刻膠,SU-8,環氧樹脂
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