Diener 等離子表面處理儀 ATTO
- 公司名稱 上海爾迪儀器科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/4/9 8:16:41
- 訪問次數 1433
聯系方式:李志鵬021-61552797 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 醫療衛生,環保,生物產業,農業 |
---|
Diener 等離子表面處理儀 ATTO
特點
· 低壓等離子系統,用于不同材料表面的處理
· 配置自動/手動模式,實現控制高機能
· 10.5L腔體可處理多種樣品
· 適合于研究院、高校、研發中心使用
· 8” Wafer去膠清洗
Diener 等離子表面處理儀 ATTO技術規格:
型號 | ATTO | ATTO PCCE | |
控制系統 | 手動控制 | PCCE 控制系統 | |
工藝氣路 | 雙路氣體 | ||
工藝氣體 | O2,Ar,N2,CO2,H2,Air等 | ||
單體導入 | H2O等單體(選配) | ||
流量計 | 針閥流量計 | MFC流量計 | |
真空 腔體 | 材質 | 高硼硅玻璃腔體,蓋子門帶觀察窗(石英,鉸鏈門選配) | |
內尺寸(Dia.×D) | 211×300mm | ||
容積 | 10.5L | ||
電極 | 360度外置環繞電極 | ||
發生器*
| 40KHz 0~200 W 13.56MHz 0~50 W 13.56MHz 0~300 W | ||
真空壓力計 | 指針式壓力計(選購) | 皮拉尼數字式壓力計 | |
計時器 | 旋鈕式(選購) | 數字式 | |
托盤 | 高硼硅玻璃(石英選配)W200xD260xH5mm | ||
外形尺寸(WXDxH)mm | 525x450xD450 | ||
電源 | AC220V 50Hz 10A | ||
真空泵 | 排氣速度8m3/H |
上海爾迪儀器科技有限公司是一家代理經銷國內外儀器的專業公司。秉承“銷售*儀器、提供優質服務”的宗旨,在制藥、化工、環保、科研、大學、醫學等領域開拓了廣泛的市場,并贏得了廣大用戶的支持和信賴。爾迪在今后的發展中,將貫徹誠信、服務、務實、創新的經營理念,一如既往地把國內外優秀的儀器設備介紹并提供給國內的用戶。孜孜追求,不懈努力,不斷提高服務水平,為提升用戶的檢測水平和科研水平貢獻各自的綿薄之力,與廣大用戶共同享受科技成果,在互利協作中共同進步。