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非接觸式方塊電阻測試儀實現替代四探針方阻測試儀傳統測量方案,方塊電阻測試儀采用電渦流技術,通過設備的渦流傳感器組,感應弱電流到導電薄膜和材料。方塊電阻測試儀實現更高精度實時測量板材電阻和層厚,非接觸式單點方阻測試儀既不需要設置測試結構,也不受表面粗糙度或非導電封裝或鈍化層的影響,不再進行任何形式的樣品接觸或多余備樣,同一樣品反復調整重復測量,非接觸式薄膜方阻測量儀可以非接觸式實時測量,對導電薄膜和金屬方塊電阻精確測量,表征已被隱藏和封裝的導電層,并把測量數據保存和導出。有利于在研發和測試實驗室各種薄膜系統的質量保證。
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