傳感器特點
1.擁有相當于大約50厘米高低差氣壓變化的6Pa相對壓力檢測精度;
2.擁有0.06Pa(相當于5毫米)的高分辨率;
3.封裝尺寸:長3.8毫米×寬3.8毫米×厚0.92毫米的小型尺寸
4.芯片尺寸:通過將CMOS電路與MEMS傳感器融為一體,實現長1.9毫米×寬1.9毫米×厚0.5毫米的小型尺寸;
5.擁有300~1100hPa的寬檢測范圍;
6.能為電池長壽命化做出貢獻的0.3~9.0uA低消耗電流(※3)
7.內置溫度傳感器,能補償傳感器周圍溫度變化對氣壓變動造成的影響;
8.采用I2C輸出方式,應對串聯通信。
根據測試條件及動作模式,消費電流有所不同。
技術特點
該傳感器充分應用本公司長年積累的半導體電路設計技術、CMOS信號處理技術以及MEMS技術,在單芯片中集成了壓力傳感器、模擬放大電路、數字化信號處理電路、非易失性存儲器等各項功能,從而可提高芯片的小型化、高性能化,以及抗噪性能。
而且,該傳感器還通過應用MEMS粘接技術,可加大傳感芯片內部的真空空腔容積,從而能使傳感器的輸入動態范圍大化,實現高精度檢測。
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