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使用便攜式原子力顯微鏡實現太陽能電池工業的在線粗糙度測量

來源:北京億誠恒達科技有限公司   2010年05月21日 14:19  

便攜式原子力顯微鏡

摘要:在薄膜太陽能工業區域粗糙度參數總是需要在控制中,因為它們與電池的電效率緊密相關。在這項工作中,我們在太陽能工業典型的制造車間中測量和評價粗糙度參數。測量使用的是Nanosurf easyScan 2 便攜式原子力顯微鏡,這臺儀器放置在CNC金剛石切割設備上,設備上有一被切成四塊的透明導電氧化物薄膜的初始樣品。通過在這個過程中得到的結果與在實驗室*條件下得到的結果比較,證明了車間在線測量的方法是可行的。區域粗糙度參數和傅里葉光譜分析的數據具有一致性,表明使用這種類型的測量工具進行在線質量控制是可行的。這個實驗測量評價過程對樣品的TCO是無任何破壞的;這樣100%的產品能被測試,因此改進了測量時間和成品率。

關鍵詞:表面精密測量法;原子力顯微鏡;太陽能電池;透明導電氧化物膜;區域粗糙度

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