SRM 2000 高分辨率X射線衍射用校準標準品（美國NIST）

產品貨號：SRM 2000

英文名稱：Calibration Standard for High-Resolution X-Ray Diffraction

中文名稱：高分辨率X射線衍射用校準標準品

規格：1 block

危險等級：非危險品

產品用途：

該標準參考材料 （SRM） 為高分辨率 X 射線衍射 （HRXRD） 社區提供了國際單位制 （SI） [1] 可追溯的 Si （220） 透射 d 間距、表面到晶體平面晶圓誤切和表面到硅 （004） 布拉格角反射對于我們的參考波長。 SRM 2000 的一個單元由 25 mm × 25 mm × 0.725 mm 雙拋光 （100） 導向的單晶硅樣品組成，標稱值為 50 nm Si0.85Ge0.15 外延層和 25 nm Si 帽。 這些認證值可用于校準 HRXRD 儀器。

儲存及操作說明：

外延層可能受損或晶片機械應變;因此，應避免接觸 SRM 的前表面。 要去除表面污染，請使用過濾后的氮氣。

峰分布：測得的衍射峰明顯不對稱。 支持性測量表明，這種不對稱可能不完quan是由于儀器效應，而部分是由于 SRM 2000 原料的特性。 因此，使用分離 Pearson VII 曲線來擬合和估計峰位置，并推薦用于確定校準峰位置。 由于不對稱性對輪廓位置確定的影響不同，使用另一個輪廓函數可能會導致系統偏差。

有效期：SRM 2000 的認證在指ding的不確定性范圍內無限期有效，前提是 SRM 按照本證書中給出的說明進行處理和儲存（參見“處理、儲存和使用說明”）。 因此，不需要定期重新校準或重新認證此 SRM。 如果 SRM 損壞、污染或以其他方式修改，則認證將失效。

本公司保證全程采用美國NIST要求的運輸條件進行產品運輸。

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