潔凈室的等級劃分主要依據塵埃粒子的數量和粒徑大小。從 ISO 1 級到 ISO 9 級,對塵埃粒子的控制要求越來越寬松,但即使是相對寬松的 ISO 9 級潔凈室,也對塵埃粒子有著明確的限制。塵埃粒子計數器是確定潔凈室等級和監控其運行狀態的關鍵儀器。它可以準確測量潔凈室內每立方米空氣中不同粒徑的塵埃粒子數量,從亞微米級到數微米級的粒子都能精確檢測。例如,在 ISO 1 級潔凈室中,每立方米空氣中大于等于 0.1 微米的塵埃粒子數不得超過 10 個,這種超高精度的要求只有通過塵埃粒子計數器才能實現監測。
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