用于太陽能電池等各種制造設備的壓力監測用壓力計CCMT-D系列介紹
CCMT-D系列是電容式壓力計,其陶瓷膜片因氣壓變化而變形,并通過電容的變化來檢測壓力。傳感器部分采用陶瓷制成的一體化結構,因此具有優異的再現性和穩定性,無論何種氣體(絕對壓力表),都可以精確測量低真空和中真空區域的壓力。
目的
用于薄膜沉積設備過程中的壓力監測
用于真空熔煉、真空熱處理爐等真空排氣系統的壓力監測。
用于太陽能電池等各種制造設備的壓力監測
特征
長期穩定
由于使用陶瓷膜,具有優異的耐腐蝕性
內置溫度補償電路型
新采用的結構可保護傳感器免受污垢影響
可通過按鈕進行零點調整
規格
模型 | CCMT-D | ||
測量 滿量程 | CCMT-1000D | 133kPa 滿量程 | |
CCMT-100D | 13.3kPa滿量程 | ||
CCMT-10D | 1.33kPa滿量程 | ||
CCMT-1D | 133Pa 滿量程 | ||
解決 | 整個案例為 0.003% | ||
準確度*1 | ±0.2%示值 ±溫度系數 | ||
溫度系數 | 零電壓 | 0.005%FS/℃ | |
量程電壓 | 0.01% R/℃ | ||
工作溫度范圍 | 10~50℃ | ||
響應速度 | 30毫秒或更短 | ||
氣體接觸材料 | Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3 | ||
輸入功率 | DC14~30V,1W | ||
輸出 | 直流0~10VF.S | ||
大量的 | 329g(直徑12.7/標準型) | ||
外形尺寸 | 直徑55mm x 117mm(直徑12.7mm,標準型) | ||
配件 | 標準:直徑12.7管材 選項:NW16KF、Cajon 8VCR | ||
溫度補償 | 內置溫度補償電路 | ||
輸入/輸出連接器 | D-sub 15 針公頭 |
*1:打開電源2小時后,工作環境溫度為25℃。 |
*2:18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe |
*3:28%鎳、23%鈷、49%鐵 |
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