Moxtek專為240nm到400nm紫外波段應用設計紫外偏振片,采用特*的納米線柵技術,性能優異,具有大入射角,寬波長范圍,耐熱性高,高透過率,高消光比等特點。
產品型號和規格
技術數據:透過率以及消光比
紫外偏振片主要應用
1.半導體設備應用:
DUV步進器和DUV掃描儀是半導體生產過程中的核心和關鍵單元。使用波長為248 nm和193 nm的單色紫外線輻射,將結構從光掩模板轉移到襯底上。在光刻材料的曝光中增加偏振光可將分辨率提高20%。
紫外偏振片也廣泛用在無圖形晶圓光學檢測設備上,實現高精度的缺陷檢測。
2.紫外線固化
偏振紫外線用于固化高*印刷行業中使用的紫外線敏感油墨,使用偏振光可以實現更快的生產速度和更大的產能,從而提高機器和工廠的利用率。
3.光對準Photo Alignment
使用240至300nm范圍內的線性偏振紫外線,可以實現LC顯示器行業的精確對準,以生成各向異性對準膜。傳統的摩擦聚酰亞胺會產生灰塵、靜電和機械損傷。在不用大面積變動的情況下,UV偏振光允許極快生成均勻和穩定的偏置傾斜角。
4.光譜儀
Moxtek UVD260和UVD240偏振片可用于光譜儀,與Glan-Taylor棱鏡相比,其小尺寸、寬接受角、均勻性和寬波長帶寬特點具備明顯的優勢,另外相比傳統的Glan-Taylor棱鏡,UVD系列偏振片還具有更高的對比度和透過率,同時支持更大的AOI,需要更少的空間,沒有光學像差,厚度僅為2mm左右。
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