YP-150I半導(dǎo)體晶圓表面缺陷檢查燈原理應(yīng)用
YP-150I半導(dǎo)體晶圓表面缺陷檢查燈原理應(yīng)用
表面瑕疵燈用于人工檢測工件表面灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點(diǎn)。
檢測原理是:利用適合的LED 燈源,通過光學(xué)透鏡和濾光片折射出特殊的光源,照在工件表面折射出光路,使得操作員肉眼可識別出工件表面的瑕疵。
YP-150I 表面檢查燈 YP-250I
基本信息高強(qiáng)度鹵素光源裝置
超精密平面檢測的理想選擇!通過驚人的照明,可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。
“YP-150I”是一種用于顯微觀察的照明裝置
用于檢測最終成品表面上的各種缺陷,如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等,是半導(dǎo)體加工過程中勞動強(qiáng)度的一種。觀察晶圓和液晶板、玻璃表面、部件表面的瑕疵,廣泛應(yīng)用于鏡片、液晶玻璃、手機(jī)屏幕、汽車玻璃,晶圓片、模具、汽車、手機(jī)保護(hù)膜、柔性基板、網(wǎng)版絲印等行業(yè)
表面的照度可超過 400,000 Lx。
另外,由于采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗珳馗撸?/p>
光照不均勻的情況很少,光照強(qiáng)度穩(wěn)定銳利。
姊妹機(jī)“YP-250I”也可用于 8 英寸。
■ 光源采用鹵素?zé)?/p>
■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高
■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3
■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換
請用于超精密平面檢測!
高亮度鹵素光源裝置“YP-250I”是用于檢測劃痕、拋光不均勻、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置。
采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗珳馗撸瑴p少照明不均,照明***穩(wěn)定銳利。
此外,本機(jī)為“YP-150I”的姊妹機(jī),有螺旋槳風(fēng)機(jī)型和管道風(fēng)機(jī)型可供選擇,可根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行使用。
YP-150I,可精確檢查到1um 以下的刮痕或微粒子,幾乎可檢測出所有塵埃。我們有不同強(qiáng)度及樣式的表面瑕疵檢測燈,如果是測試要求比較高的大半導(dǎo)體廠,可使用強(qiáng)度為30萬LX以上的檢查燈,如果是測試要求沒那么高的一般封測廠,可采用光源強(qiáng)度達(dá) 5萬LX的檢查燈。檢測燈使用壽命為2萬小時(shí)以上,比傳統(tǒng)的檢查燈壽命長且效用增強(qiáng) 10 倍。
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