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DSX1000數碼顯微鏡:半導體器件精密檢測的全能助手

來源:儀景通光學科技(上海)有限公司   2024年08月28日 14:59  

半導體行業是現代電子產業的核心,不僅驅動著智能手機、電腦、汽車等的發展,還對人工智能、物聯網、5G通信等前沿技術領域起著關鍵作用。隨著全球化的深入發展,半導體行業呈現出強勁增長勢頭。


顯微鏡在半導體行業的應用

顯微鏡在半導體行業中扮演著重要的角色,幫助觀察和分析微小的半導體器件結構,確保產品質量和性能。

l  設計環節

在半導體設計階段,顯微鏡用于檢查和驗證集成電路(IC)的設計圖,確保電路圖的準確性和可行性,包括細節檢查、尺寸驗證、布局優化等。

l  晶圓制造環節

晶圓制造是半導體生產的核心過程,涉及將設計轉化為實際的物理結構。顯微鏡在此環節的作用包括缺陷檢測、圖案對準、層間檢查等。

l  封裝環節

封裝是將制造完成的晶圓切割成單獨的芯片,并將其封裝以便于使用。顯微鏡的作用包括芯片檢查、引腳定位、封裝完整性等。

l  測試環節

測試環節是確保半導體器件性能符合規格要求的關鍵步驟。顯微鏡在此環節中負責輔助電氣特性測試

 

半導體觀察能力要求

隨著半導體器件的不斷微型化,對顯微鏡的分辨率、成像技術和多功能性提出了更高要求。

·         高分辨率觀察:以設計環節為例,需要高分辨率的顯微鏡確保每個電路元件的尺寸和位置都精確無誤。在缺陷檢測中,微小缺陷的識別也離不開可靠的顯微成像。

·         多尺度觀察能力:設計圖可能需要在不同的尺度上進行觀察,以檢查從宏觀布局到微觀特征的所有層面。

·         三維立體成像能力:圖案對準和層間檢查可能需要3D顯微鏡來觀察晶圓表面的三維結構。

·         多角度觀察:封裝完整性檢查可能需要從不同角度觀察芯片和封裝材料,以確保沒有遺漏潛在問題。


DSX1000數碼顯微鏡應用優勢

DSX1000數碼顯微鏡,具備強大分析能力和動態成像功能,將易用性和多種功能相結合,滿足了半導體行業在多個環節的高標準,成為推動行業質量提升的創新力量。

·         從宏觀到微觀:僅需一套系統即可同時應對初步檢驗和微米級分析,27X9637X放大倍率范圍,支持更多分析檢驗工作。

·         多種觀察模式切換:可在任何放大倍率下適用所有觀察方法,六種觀察方式一鍵切換。

·         高分辨率觀察結果:單個物鏡具有高分辨率和長工作距離,配備遠心光學系統保證精確測量,保證觀察結果的準確性和重復性。

·         豐富、易用的測量功能:支持線寬等二維尺寸測量,以及高度三維尺寸測量,提供專業金相+Ai分析功能,易于使用的高級測量功能加快了分析速度。

 

DSX1000 數碼顯微鏡.jpg


未來,隨著半導體器件繼續向更小尺寸和更高性能發展,DSX1000數碼顯微鏡將繼續發揮其在精密檢測方面的優勢,助力實現更高層次的創新,為電子產業的進步貢獻力量。

 


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