手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
fei雙束電子顯微鏡結合了掃描電子顯微鏡(sem)和聚焦離子束(fib)技術。這種設備通常用于材料科學、半導體制造、失效分析等領域，能夠進行高分辨率成像、精確切割以及樣品制備等操作。
fei雙束電子顯微鏡的分辨率受多種因素影響，主要包括以下幾點：
1、電子光學系統：電子槍的類型、電磁透鏡的設計和質量、電子束的穩定性都會影響最終的圖像分辨率。高質量的電子源和先進的光學系統可以提供更細的電子束探針，從而提高分辨率。
2、樣品與探測器之間的相互作用：樣品本身的導電性、拓撲結構、化學組成以及樣品室中的真空度都會影響二次電子和背散射電子的產生和收集效率，進而影響圖像的清晰度和分辨率。
3、探測器的性能：探測器的類型和靈敏度決定了能夠收集到的信號強度和質量。高性能的探測器可以提高信號的信噪比，從而提升圖像分辨率。
4、電子束與樣品的作用深度：電子束穿透樣品的深度會影響產生的信號類型和數量。作用深度較淺時，主要產生二次電子，適合觀察表面形貌；作用深度較深時，會產生更多的背散射電子，適合原子序數對比成像。
5、聚焦離子束的影響：在進行fib切割或沉積時，操作的精度和離子束的參數設置(如束流大小、加速電壓等)也會影響最終制備出的樣品表面的平滑度和清潔度，間接影響sem成像的分辨率。
綜上所述，fei雙束電子顯微鏡的分辨率受到電子光學系統、樣品特性、探測器性能、fib操作、機械穩定性、軟件處理以及操作者技能等多方面因素的影響。優化這些因素可以提高分辨率，從而獲得更高質量的成像結果。
相關產品
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心