8713 型質量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內對氣體進行質量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實現速度的響應。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執行元件,確保了良好的響應靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備的控制特性。8713 型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準,用戶可以在兩者之間進行切換。與上級設備的通信采用數字形式,這樣一來,就可以省去額外的數模轉換。8713 型質量流量控制器適合多樣化應用,例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應堆、燃料電池技術或者試驗臺。
標稱流量范圍:0.010 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復性高
調控速度特別快
通過 RS485 進行數字通信
緊湊型版本
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