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三坐標影像測量儀利用光學顯微鏡對待測物體進行自由倍率的放大成像，經過CCD攝像系統，將放大后的被測物體影像傳輸到與儀器相連接的計算機，用以進行非接觸、高效檢測各種復雜工件的幾何量。
三坐標影像測量儀的優點包括不受儀器量程的影響、操作方便、可以編程測量以提高效率、位置定位可編程記憶以提高重復測量的精度、沒有人為的繪圖測量誤差以提高測量結果的可靠性，適合產品尺寸多且復雜的產品測量。
操作步驟：
1、開機前準備
（1）環境控制：確保測量室內的溫度、濕度等環境條件符合設備要求，通常溫度應控制在20±2°C，濕度在40%-60%之間，以保持測量精度。
（2）設備清潔：使用無塵布蘸取微量酒精擦洗X、Y、Z軸導軌及操作臺面，確保設備表面無雜物和污漬。注意，擦洗導軌時應單向進行，避免來回擦拭，光柵尺部位不能沾有水跡。
2、開機與軟件啟動
（1）接通電源：將三坐標影像測量儀的電源線插入電源插座，打開電源開關，等待設備自檢完畢。
（2）啟動軟件：在電腦上啟動設備公司提供的測量軟件，輸入用戶名和密碼，完成登陸操作。確保軟件與設備正常通信，并等待系統加載完成。
3、測量準備
（1）放置工件：將待測量的零件或機械裝置放置在設備工作平臺上，并按照設備廠商提供的操作手冊，調整設備工作區域。
（2）建立坐標系：在測量機軟件中，通過標定操作建立坐標系。標定操作可以校正測量機的誤差，確保測量結果的準確性。
（3）設定測量參數：根據需要設定測量參數，包括測量方式（如點測量、線測量、面測量等）、測量精度、掃描速度等。
4、進行測量
（1）創建測量程序：根據待測量對象的特點，創建相應的測量程序。在程序中設置好測量點的數量和位置等參數。
（2）開始測量：點擊“測量”按鈕開始進行測量。測量過程中，設備會自動拍攝照片并采集數據。操作人員需密切關注測量數據和結果，確保測量過程順利進行。
5、數據處理與保存
（1）檢查測量結果：測量完成后，系統將自動計算出測量結果，并以圖表及數據形式展現在電腦屏幕上。用戶可根據需要進行數據的優化和調整。
（2）保存測量數據：將測量數據保存到本地硬盤或移動存儲設備中。同時，建議為每組測量數據建立相應的命名規則以方便查詢和管理。
6、關機與清理
（1）關閉軟件與設備：在測量操作完成后，需要按照與開機相反的順序關閉軟件和設備。關閉測量軟件及計算機，然后關閉控制盒電源，關閉氣閥。
（2）清潔設備：對儀器進行適當的清理，包括擦拭導軌、操作臺面等，以保持設備的整潔和精度。
保養方法：
1、儀器應放在清潔干燥的室內(室溫20℃±5℃，濕度低于60%)，避免光學零件表面污損、金屬零件生銹、塵埃雜物落入運動導軌，影響儀器性能。
2、工作臺玻璃及油漆表面臟了，可以用中性清潔劑與清水擦拭干凈。絕不能用有機溶劑擦拭油漆表面，否則，會使油漆表面失去光澤。
3、軟件已對工作臺與光學尺的誤差進行了準確補償，請勿自行更改。否則，會產生錯誤的測量結果。
4、儀器的電氣接插件、一般不要拔下，如已拔掉，則必須按標記正確插回并擰緊螺絲。不正確的接插、輕則影響儀器功能，重則可能損壞系統。
5、儀器使用完畢，工作面應隨時擦拭干凈，再罩上防塵套。
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